СОВЕТ ЭКОНОМИЧЕСКОЙ ВЗАИМОПОМОЩИ	СТАНДАРТ СЭВ	СТ СЭВ 4281-83
	ПЛАСТИНЫ КРЕМНИЕВЫЕ Размеры

Утвержден Постоянной Комиссией по сотрудничеству в области стандартизации Дрезден, декабрь 1983 г.

Настоящий стандарт СЭВ распространяется на пластины монокристаллического кремния (далее - пластины), предназначенные для производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.

Размеры пластин должны соответствовать приведенным в таблице.

Диаметр, mm		Толщина, mm		Длина основного среза, mm	Длина вспомогательного среза, mm	Закругленность края пластины, mm
Номин.	Пред. откл.	Номин.	Пред. откл.	Длина основного среза, mm	Длина вспомогательного среза, mm	Глубина	Ширина
51	±0,5	230	±20	От 16 до 20	От 6 до 11	От 40 до 120	От 75 до 500
		250
		275^*
		325
		330
60		300^*		От 18 до 22	От 8 до 10
60		350		От 18 до 22	От 8 до 10
76		350		От 19 до 27	От 9 до 15	От 50 до 220	От 75 до 1000
		375
		380^*
		450
		457
		510
100	±0,8	460	±25	От 30 до 35	От 16 до 20
		500^*
		525
		575
		625
125	±1,0	500		От 35 до 45	От 20 до 30
		560
		600^*
		625
		650
		675
150		600		От 47 до 53	От 24 до 30
		650^*
		700
		850

^* Предпочтительные числовые значения величин.

ИНФОРМАЦИОННОЕ ПРИЛОЖЕНИЕ

ТЕРМИНЫ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ

Термин	Определение
1. Пластина	Часть монокристалла кремния, ограниченная двумя параллельными поверхностями
2. Срез	Прямой край пластины, образуемый удалением сегмента
3. Основной срез	Срез наибольшей длины, ориентированный по отношению к кристаллографическим направлениям и плоскостям кристалла
4. Вспомогательный срез	Срез используемый для маркировки пластины
5. Закругленность края пластины	Обработанный край пластины (см. чертеж)

Допускается скругление края пластины в пределах полей допусков.

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. Автор - делегация ЧССР в Постоянной Комиссии по сотрудничеству в области радиотехнической и электронной промышленности.

2. Тема 18.600.06-81.

3. Стандарт СЭВ утвержден на 54-м заседании ПКС.

4. Сроки начала применения стандарта СЭВ:

Страны - члены СЭВ	Сроки начала применения стандарта СЭВ
Страны - члены СЭВ	в договорно-правовых отношениях по экономическому и научно-техническому сотрудничеству	в народном хозяйстве
НРБ	Июль 1985 г.	Июль 1985 г.
ВНР	Июль 1985 г.	Июль 1985 г.
СРВ
ГДР	Июль 1985 г.	Июль 1985 г.
Республика Куба
МНР
ПНР
СРР	-	-
СССР	Июль 1985 г.	Июль 1985 г.
ЧССР	Июль 1985 г.	Июль 1985 г.

5. Срок проверки - 1990 г.