ГОСТ Р 50116-92

 

ЭЛЕКТРОННАЯ ГИГИЕНА

Термины и определения

 

 

ГОССТАНДАРТ РОССИИ

Москва

 

 

Предисловие

 

1 РАЗРАБОТАН и ВНЕСЕН Техническим комитетом 303 ВНИИЭлектронстандартом

2 УТВЕРЖДЕН и ВВЕДЕН в действие Постановлением Госстандарта России от 06.08.92 № 896

3 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

4 ПЕРЕИЗДАНИЕ

 

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ЭЛЕКТРОННАЯ ГИГИЕНА Термины и определения Microcontamination control. Terms and definitions

ГОСТ Р 50116-92

Дата введения 1993-07-01

Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий в области электронной гигиены.

Стандарт распространяется на стадии разработки, освоения и производства изделий, осуществляемые в чистых производственных помещениях на чистых рабочих местах.

Термины, устанавливаемые стандартом, обязательны для применения во всех видах документации и литературы, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ.

1 Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин. Применение терминов-синонимов стандартизованного термина не допускается. Недопустимые термины-синонимы приведены в круглых скобках после стандартизованного термина и обозначены пометой «Ндп».

2 Заключенная в круглые скобки часть термина может быть опущена при использовании термина в документах по стандартизации.

Наличие квадратных скобок в терминологической статье означает, что в нее включены два термина, имеющие общие терминоэлементы.

В алфавитном указателе данные термины приведены отдельно с указанием номера одной статьи.

3 Приведенные определения можно при необходимости изменять, вводя в них производные признаки, раскрывая значения используемых в них терминов, указывая объекты, входящие в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в настоящем стандарте.

В случаях, когда в термине содержатся все необходимые и достаточные признаки понятия, определение не приводится, и вместо него ставится прочерк.

4 В стандарте приведен алфавитный указатель терминов на русском языке.

5 Термины и определения общетехнических понятий, необходимые для понимания текста стандарта, приведены в приложении.

6 Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы, представленные аббревиатурой, - светлым, а синонимы - курсивом.

1 Общие понятия

1.1 электронная гигиена; ЭГ (Ндп. вакуумная гигиена; электронно-вакуумная гигиена; технологическая гигиена; производственная гигиена): Комплекс обязательных требований, норм, средств и мероприятий, направленных на обеспечение заданных параметров технологического микроклимата с целью защиты изделий от неблагоприятных внешних воздействий в процессе производства.

1.2 (технологический) микроклимат: Искусственно создаваемые условия воздушной и газовой среды в помещениях и на рабочих местах для защиты изделий от неблагоприятных внешних воздействий.

Примечание - Воздушная среда характеризуется запыленностью, температурой, относительной влажностью, скоростью воздушного потока и его ламинарностью, избыточным давлением, уровнем вибрации и шума, напряженностью электромагнитного поля, уровнем электростатического заряда.

1.3 чистое помещение; ЧП: Помещение, в том числе и производственное, характеризуемое по степени запыленности классом чистоты, в котором конструктивно-строительным решением и применением специальных технических средств обеспечиваются заданные параметры технологического микроклимата.

1.4 чистое рабочее место; ЧРМ: Рабочее место в чистом помещении, характеризуемое по степени запыленности классом чистоты, на котором конструктивным решением и применением специальных технических средств обеспечиваются заданные параметры технологического микроклимата.

1.5 класс чистоты помещения [рабочего места] (Ндп. уровень запыленности, уровень чистоты): Характеристика чистого помещения [рабочего места], определяемая нормами запыленности в них.

1.6 служба электронной гигиены: Подразделение, осуществляющее координацию работ по обеспечению и контролю требований электронной гигиены.

1.7 дисциплина в чистом помещении: Элемент технологической дисциплины, регламентирующий соблюдение персоналом чистого помещения требований и правил электронной гигиены, установленных в нормативно-технических документах.

2 Характеристики технологического микроклимата

2.1 (технологическое) загрязнение: Наличие твердых и жидких частиц, примесей газов, а также микроорганизмов, которые могут явиться причиной дефектов в процессе производства.

2.2 источник загрязнения -

2.3 запыленность воздуха [газа] (Ндп. содержание частиц, концентрация частиц): Количество частиц в единице объема воздуха [газа].

Примечание - При нормировании и контроле запыленности следует указывать размер(ы) частиц.

3 Средства обеспечения электронной гигиены

3.1 средства обеспечения электронной гигиены: Комплекс технических средств обеспечения параметров технологического микроклимата, включающий в себя пылезащитное и пылеулавливающее оборудование, технологическую одежду, технологические принадлежности.

3.2 пылезащитное оборудование: Оборудование, устанавливаемое в чистых помещениях для защиты изделий, технологического оборудования, оснастки и инструмента от неблагоприятных внешних воздействий, в том числе от загрязнений.

Примечание - К пылезащитному оборудованию относятся пылезащитные боксы, пылезащитные кабины и микроклиматические камеры.

3.3 термоконстантное [термовлагоконстантное] пылезащитное оборудование: Пылезащитное оборудование, в котором с заданной точностью поддерживаются температура [температура и относительная влажность] воздуха.

3.4 чистая комната: Пылезащитное оборудование, представляющее собой замкнутый герметичный объем для размещения технологического оборудования или его рабочей части, оснастки, инструмента, обрабатываемых изделий, персонала и проведения технологических операций.

Примечание - Чистые комнаты предназначены для проведения технологических операций, требующих высокой степени чистоты воздушной среды.

3.5 пылезащитная (технологическая) тара: Герметичная тара из антистатических материалов, стойких к внешним воздействиям и не выделяющих пыли, предназначенная для защиты изделий от загрязнений, механических повреждений и статического электричества.

Примечание - Пылезащитная тара может быть активной, имеющей системы подготовки, очистки и продувки воздуха, или пассивной, заполняемой очищенным газом или воздухом под избыточным давлением.

3.6 технологическая одежда: Комплект одежды и обуви, предназначенный для работающих в чистых помещениях и предохраняющий изделия, оборудование, оснастку, инструмент и рабочее место от вносимых работающим загрязнений и статического электричества.

Примечание - В зависимости от условий технологического процесса технологическая одежда должна быть стойкой к кислотам или щелочам, не выделяющей пыли, обладать антистатическими свойствами.

3.7 технологические принадлежности: Средства защиты изделий, материалов, оборудования, инструмента и оснастки от попадания загрязнений с рук работающих.

4 Производственные здания с чистыми помещениями

4.1 производственное здание с чистыми помещениями: Здание, в котором обеспечены условия размещения чистых помещений.

4.2 чистая зона (Ндп. гермозона): Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения чистых производственных помещений, включая зоны их обслуживания.

Примечание - В чистой зоне могут находиться помещения или комнаты различного класса чистоты, имеющие различные параметры технологического микроклимата, определяемые требованиями организации технологического процесса.

4.3 сервисная зона (Ндп. подготовительная зона): Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения помещений, в которых проводится подготовка технологических сред и материалов, снятие упаковки с оборудования при вводе его в чистые помещения и другие работы технологического обеспечения производства.

4.4 зона инженерно-технического обслуживания: Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения вентиляционных камер, кондиционеров, станции подготовки воды, компрессорной станции, камеры пылеуборки, трансформаторной подстанции, системы пожаротушения, складов и других инженерных систем.

4.5 зона социально-бытового обслуживания: Часть производственного здания с чистыми помещениями, предназначенная для размещения помещений блока подготовки персонала, комнат отдыха, уборных помещений, медпункта и других вспомогательных помещений.

Примечание - Сервисная зона и зоны инженерно-технического и социально-бытового обслуживания, располагаемые в непосредственной близости к чистой зоне, могут быть не сгруппированы в определенной части производственного здания, а распределяться в объеме чистой и других зон. При высоких технологических требованиях указанные зоны могут включать в себя чистые помещения.

5 Зоны чистых помещений и элементы их конструкции

5.1 рабочая зона (чистого помещения): Часть чистого помещения, в которой размещается технологическое оборудование, обрабатываемые изделия, оснастка и инструмент и осуществляется технологический процесс.

5.2 зона оператора: Часть чистого помещения, в которой находятся операторы, включающая проходы к рабочим местам.

Примечание - Рабочая зона и зона оператора могут иметь отдельные системы очистки воздуха и соответствовать различным классам чистоты.

5.3 зона обслуживания чистого помещения: Часть чистого помещения, расположенная смежно с чистыми комнатами и предназначенная для их обслуживания.

Примечание - В зоне обслуживания могут размещаться нерабочие части технологического оборудования, системы подготовки и контроля технологических сред, включая финишные фильтры и другое вспомогательное оборудование.

5.4 техническая зона над [под] чистым помещением: Пространство над [под] чистым помещением, технический этаж или подвал, предназначенные для размещения подводящих и магистральных воздуховодов, газопроводов, систем кондиционирования, инженерных сетей, обслуживающих чистое помещение, а также для отвода воздуха из него.

5.5 фильтровальный потолок [стена]: Потолок [стена] чистого помещения, в конструкции которого размещены фильтры тонкой очистки воздуха.

5.6 фильтровальный блок: Элемент фильтровального потолка или стены, состоящий из одного или группы фильтров тонкой очистки с устройством подвода воздуха.

5.7 блок обеспыливания: Автономное устройство, состоящее из воздухонагнетателя и фильтров, предназначенное для создания воздушной среды заданной степени чистоты.

5.8 фальшпол: Пол из сборно-разборных конструкций, не накапливающий пыль и электростатический заряд, предназначенный для отвода воздуха из чистых помещений и укрытия коммуникаций и оборудования.

5.9 шлюз для персонала (Ндп. обдувочная шлюзовая камера): Устройство, устанавливаемое перед входом в чистое помещение и предназначенное для снятия струями очищенного воздуха загрязнений с технологической одежды персонала.

5.10 грузовой шлюз (чистого помещения): Устройство, устанавливаемое перед грузовым входом, в чистое помещение и предназначенное для снятия с поступающих грузов загрязнений струей очищенного воздуха.

6 Фильтрование и фильтры

6.1 фильтрация: Самопроизвольное или преднамеренное прохождение жидкости или газа через пористую среду, которое может сопровождаться отделением взвешенных частиц, задерживаемых пористой средой (ГОСТ 16887).

6.2 фильтрование: Преднамеренно осуществляемый процесс фильтрации для разделения жидких неоднородных систем (ГОСТ 16887).

6.3 пылеуловитель: Аппарат для очистки газа от взвешенных частиц (ГОСТ 25199).

6.4 фильтрующий элемент: Часть фильтра, непосредственно осуществляющая фильтрование (ГОСТ 26070).

6.5 сменный фильтрующий элемент: -

6.6 фильтрующий материал: Материал, предназначенный для изготовления фильтрующих элементов и непосредственного фильтрования жидкости.

Примечание - Различают следующие разновидности фильтрующих материалов: фильтровальная бумага, металлическая сетка, синтетические и натуральные ткани, пористая пластмасса, порошковый материал и другие (ГОСТ 26070).

6.7 (воздушный) фильтр грубой очистки (Ндп. фильтр предварительной очистки): Фильтр, предназначенный для очистки от грубодисперсных частиц размером 5 мкм и более, имеющий общую эффективность 50 % - 60 % и устанавливаемый на входе системы очистки воздуха.

6.8 (воздушный) фильтр промежуточной очистки: Фильтр, предназначенный для очистки от частиц промежуточной дисперсности размером 1 - 5 мкм, имеющий общую эффективность 80 % - 85 % и устанавливаемый после воздушного фильтра грубой очистки.

6.9 (воздушный) фильтр тонкой очистки: Фильтр, предназначенный для очистки от высокодисперсных частиц размером менее 1 мкм, имеющий общую эффективность ~ 99,97 % и выше и устанавливаемый после воздушного фильтра промежуточной очистки.

6.10 финишный фильтр (Ндп. доводочный фильтр): Фильтр, устанавливаемый непосредственно в точке потребления фильтруемой среды.

6.11 коэффициент эффективности (воздушного) фильтра (Ндп. коэффициент фильтрации; эффективность очистки; эффективность фильтрации): Отношение разности запыленности воздуха на входе и на выходе воздушного фильтра к запыленности на входе.

Примечания

1 Коэффициент эффективности, выраженный в процентах, называется эффективностью воздушного фильтра.

2 Эффективность воздушного фильтра может определяться по частицам, лежащим в определенных диапазонах размеров. Суммарная эффективность по всем регистрируемым частицам называется общей.

6.12 коэффициент проскока (воздушного) фильтра: Отношение запыленности воздуха на выходе воздушного фильтра к запыленности на входе.

6.13 перепад давлений на фильтре: Разность давлений на входе и выходе фильтра, под действием которой происходит фильтрование (ГОСТ 26070).

6.14 номинальный перепад давлений на (воздушном) фильтре: Перепад давлений на незагрязненном воздушном фильтре при номинальном расходе воздуха.

6.15 номинальный расход (через воздушный фильтр) (Ндп. производительность воздушного фильтра): Объем или масса фильтруемого воздуха, проходящего через воздушный фильтр в единицу времени при номинальном перепаде давлений на фильтре.

6.16 пылеемкость (воздушного) фильтра: Объемное или весовое количество частиц, осаждение которых на воздушном фильтре повышает перепад давления на нем в заданное число раз при номинальном расходе через воздушный фильтр.

7 Контроль и поддержание параметров технологического микроклимата в чистых помещениях

7.1 контроль параметров (технологического) микроклимата: -.

7.2 контроль запыленности воздуха: Определение количества частиц установленного размера в единице объема воздуха чистых помещений или чистых рабочих мест.

7.3 отбор проб (при контроле запыленности воздуха): Установление объемов отбираемых проб воздуха, числа и длительности измерений, а также количества и расположения точек в пространстве чистого помещения или чистого рабочего места, в которых следует поместить счетчик частиц при контроле запыленности воздуха.

7.4 аттестация чистых помещений [чистых рабочих мест]: Периодическая комплексная проверка параметров технологического микроклимата в чистых помещениях [на чистых рабочих местах] на соответствие требованиям нормативно-технических документов.

7.5 счетчик частиц: Прибор, основанный на различных физических принципах, позволяющий провести подсчет частиц в воздухе, а также установить распределение их по размерам.

7.6 оптический счетчик частиц: Светорассеивающий прибор, оснащенный регистрирующим устройством для определения количества частиц и распределения их по размерам.

7.7 лазерный счетчик частиц: Оптический счетчик частиц, использующий лазер в качестве источника излучения.

7.8 конденсационный счетчик частиц: Счетчик частиц, в котором для увеличения чувствительности в воздушную среду аналитической камеры вводятся пересыщенные пары вещества, которые, конденсируясь на частицах, увеличивают размер частиц.

7.9 система контроля (воздушной) среды: Система, состоящая из датчиков запыленности, температуры, относительной влажности, давления и скорости воздушного потока и аппаратуры для обработки и регистрации данных об этих параметрах, позволяющая осуществлять регулярный периодический или непрерывный контроль параметров технологического микроклимата в чистых помещениях.

7.10 контроль запыленности (воздуха) мембранным фильтром: Контроль, основанный на пропускании определенной порции воздуха через мембранный фильтр и подсчете количества и размера частиц, осевших на ней.

7.11 контроль запыленности (воздуха) контрольной пластиной: Определение запыленности воздуха путем подсчета количества и распределения по размерам частиц, осевших на зеркальную пластину, помещенную на определенное время в заданной точке.

7.12 пылеуборка: Совокупность способов и средств удаления загрязнений в чистых помещениях, в том числе осевших частиц.

Примечание - Пылеуборка подразделяется на сухую, влажную и централизованную вакуумную.

7.13 ввод оборудования (в чистое помещение): Комплекс мероприятий по обеспечению минимального внесения загрязнений в чистое помещение при транспортировании в него технологического оборудования, вводимого в действие.

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ

 

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

 

СОДЕРЖАНИЕ