| Обозначение: |  ГОСТ Р 8.627-2007 |
| Статус: | действует |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений |
| Название англ.: | State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements |
| Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
| Дата актуализации описания: | 01.07.2023 |
| Дата издания: | 24.04.2007 |
| Дата введения: | 01.07.2007 |
| Нормативные ссылки: | ГОСТ 8.195-89; ГОСТ 8.197-2005; ГОСТ 8.207-76; ГОСТ 8.552-2001 |
| Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике |
|
| Расположен в: |
|