Скачать ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Дата актуализации: 01.07.2023

ГОСТ 5.2105-73

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Обозначение:	ГОСТ 5.2105-73
Статус:	действует
Название рус.:	Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название англ.:	Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата актуализации текста:	06.04.2015
Дата актуализации описания:	01.01.2021
Дата издания:	04.10.1973
Дата введения:	01.09.1973
Код ОКП:	443500
Область применения:	Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
Расположен в:	Государственные стандарты Общероссийский классификатор стандартов Электроника Оптоэлектроника. Лазерное оборудование Классификатор государственных стандартов Электронная техника, радиоэлектроника и связь Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроники Контрольно-испытательное оборудование для контроля качества изделий электронной и радиопромышленности Окп Приборы и аппаратура оптические Приборы оптические общепромышленного, специального и научного применения Микроскопы световые, лупы