Скачать ГОСТ 8.592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Дата актуализации: 01.07.2023

ГОСТ 8.592-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение:	ГОСТ 8.592-2009
Статус:	действует
Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название англ.:	State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements
Дата актуализации текста:	01.01.2021
Дата актуализации описания:	01.07.2023
Дата регистрации:	11.11.2009
Дата издания:	06.12.2019
Дата введения:	01.11.2010
Аутентичен стандартам:	ГОСТ Р 8.628-2007
Нормативные ссылки:	ГОСТ 8.591;ГОСТ 8.593;ГОСТ 8.594;ГОСТ 19658
Область применения:	Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов
Расположен в:	Государственные стандарты Общероссийский классификатор стандартов Метрология и измерения. Физические явления Линейные и угловые измерения Линейные и угловые измерения в целом Классификатор государственных стандартов Общетехнические и организационно-методические стандарты Государственная система измерений Методики поверки и метрологической аттестации Тематические сборники Государственная система обеспечения единства измерений.