| Обозначение: |   ГОСТ Р 71334-2024 |
| Статус: | действует |
| Название рус.: | Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции |
| Название англ.: | Epitaxial structures. Мethod for measuring the thickness of epitaxial silicon layers in structures of the silicon-on-sapphire type based on IR interference |
| Дата актуализации текста: | 01.06.2024 |
| Дата актуализации описания: | 01.06.2025 |
| Дата издания: | 19.04.2024 |
| Дата введения: | 01.03.2025 |
| Нормативные ссылки: |  ГОСТ 12.1.004;ГОСТ 12.2.007.0;ГОСТ 12.2.003;ГОСТ 12.3.019;ГОСТ 427;ГОСТ 33075;ГОСТ Р 8.568;ГОСТ Р ИСО 14644-1 |
| Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на эпитаксиальные структуры, применяемые для изготовления изделий электронной компонентной базы, и устанавливает метод интерференции для измерения толщины эпитаксиальных слоев в структурах кремний на сапфире (КНС) |
|
| Расположен в: |
|