Скачать ГОСТ Р 72477-2025 Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия

Дата актуализации: 01.06.2026

ГОСТ Р 72477-2025

Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия

Обозначение:	ГОСТ Р 72477-2025
Статус:	принят
Название рус.:	Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия
Дата актуализации текста:	01.06.2026
Дата актуализации описания:	01.06.2026
Дата издания:	13.01.2026
Дата введения:	01.07.2026
Нормативные ссылки:	ГОСТ 3.1109;ГОСТ 8.051;ГОСТ 9.014;ГОСТ 12.0.003;ГОСТ 12.1.004;ГОСТ 12.1.005;ГОСТ 12.2.003;ГОСТ 12.2.007.0;ГОСТ 12.2.007.14;ГОСТ 14.201;ГОСТ 14.206;ГОСТ 26.008;ГОСТ 27.003;ГОСТ 2991;ГОСТ 5959;ГОСТ 10198;ГОСТ 14192;ГОСТ 15150;ГОСТ 18680;ГОСТ 21130;ГОСТ 23000;ГОСТ 23872;ГОСТ 24297;ГОСТ 24686;ГОСТ 26975;ГОСТ CISPR 11;ГОСТ ИСО 14698-1;ГОСТ Р 2.101;ГОСТ Р 2.102;ГОСТ Р 52003;ГОСТ Р 56274;ГОСТ Р 59681;ГОСТ Р 71239;ГОСТ Р 71765;ГОСТ Р 72365;ГОСТ Р ИСО 14644-1
Область применения:	Настоящий стандарт распространяется на оборудование специальное технологическое, предназначенное для производства микросборок, а также других специализированных микроэлектронных изделий, использующих общие технологические методы
Расположен в:	Государственные стандарты Общероссийский классификатор стандартов Электроника Механические конструкции электронного оборудования