| Обозначение: |   ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020 |
| Обозначение англ: | GOST R ISO 14644-12-2020 |
| Статус: | Введен впервые |
| Название рус.: | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне |
| Название англ.: | Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12. Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration |
| Дата добавления в базу: | 01.01.2021 |
| Дата актуализации: | 01.01.2021 |
| Дата введения: | 01.12.2020 |
| Область применения: | Стандарт устанавливает требования к текущему контролю чистоты вощуха по концентрации аэрозольных частиц в нанодиапазоне.
Для целей стандарта используются только частицы с пороговым размером 0,1 мкм (100 нм) и ниже — "нанодиапазон".
Текущий контроль, представленный в стандарте, применим, в основном, для эксплуатируемого состояния. |
| Оглавление: | 1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
3.1 Общие термины
3.2 Размеры частиц
3.3 Аэрозольные частицы
3.4 Состояния чистого помещения
3.5 Средства контроля
4 Текущий контроль
4.1 Общие положения
4.2 Принцип контроля
4.3 Методы контроля
5 Протокол испытаний
Приложение А (справочное) Стандартный метод текущего контроля (мониторинга) с помощью счетчика ядер конденсации
Приложение В (справочное) Эффективность счета частиц и отсечка частиц по размерам
Библиография |
| Разработан: | ООО Чистые технологии
|
| Утверждён: | 23.07.2020 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (395-ст)
|
| Расположен в: |
|
| Нормативные ссылки: | |