| Обозначение: |  ГОСТ Р 8.644-2008 |
| Обозначение англ: | GOST R 8.644-2008 |
| Статус: | Введен впервые |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки |
| Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration |
| Дата добавления в базу: | 01.09.2013 |
| Дата актуализации: | 01.01.2021 |
| Дата введения: | 01.06.2009 |
| Область применения: | Стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. |
| Оглавление: | 1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Технические требования
5 Требования к квалификации калибровщиков
6 Требования по обеспечению безопасности
7 Подготовка к процедуре калибровки
8 Процедура проведения измерений
9 Обработка результатов измерений
10 Оценка неопределенности измерений параметров
11 Оформление результатов калибровки
Приложение А (справочное) Вычисление показателя преломления воздуха
Библиография |
| Разработан: | ОАО Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Государственное образовательное учреждение высшего професионального образования Московский физико-технический институт (государственный университет)
ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт
|
| Утверждён: | 26.08.2008 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (186-ст)
|
| Издан: | Стандартинформ (2008 г. )
Стандартинформ (2010 г. )
|
| Расположен в: |
|
| Нормативные ссылки: | |