| Обозначение: |   ГОСТ Р 8.640-2008 |
| Обозначение англ: | GOST R 8.640-2008 |
| Статус: | Введен впервые |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки |
| Название англ.: | State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods |
| Дата добавления в базу: | 01.09.2013 |
| Дата актуализации: | 01.01.2021 |
| Дата введения: | 01.01.2009 |
| Область применения: | Стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения — радиометры УФ-излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок. |
| Оглавление: | 1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Операции поверки
4 Средства поверки
5 Требования к квалификации поверителей
6 Требования безопасности
7 Условия поверки
8 Подготовка и проведение поверки
9 Обработка результатов измерений
10 Оформление результатов поверки
Приложение А (обязательное) Характеристики радиометров УФ-излучения
Библиография |
| Разработан: | ФГУП ВНИИОФИ
|
| Утверждён: | 26.03.2008 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (60-ст)
|
| Издан: | Стандартинформ (2008 г. )
|
| Расположен в: |
|
| Нормативные ссылки: | |