| Название англ.: Cleanrooms and associated controlled environments. Part 5. Operations Область применения: Настоящий стандарт устанавливает основные требования к эксплуатации чистых помещений. В настоящем стандарте не рассматриваются: - требования к безопасности, которые не связаны с контролем загрязнений; - специальные требования отдельных областей применения. Требования стандарта распространяются на чистые помещения всех классов, которые используются для выпуска любой продукции или предназначены для других целей. Стандарт не содержит требований к текущему контролю чистых помещений Нормативные ссылки: ISO 14644-5:2004, ISO 7730:1994;ISO 9237:1995;ISO 11092:1993;ISO 14644-1:2002;ISO 14644-2:2001;ISO 14644-3;ISO 14644-4:2002;ISO 14744-7:2004;ISO 14698-1:2003;ISO 14698-2:2003 |