ГОСТ 5.2105-73

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Обозначение: ГОСТ 5.2105-73
Статус:действует
Название рус.:Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название англ.:Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата актуализации текста:06.04.2015
Дата актуализации описания:01.01.2021
Дата издания:04.10.1973
Дата введения:01.09.1973
Код ОКП:443500
Область применения:Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
Расположен в:Государственные стандарты Общероссийский классификатор стандартов Электроника Оптоэлектроника. Лазерное оборудование Классификатор государственных стандартов Электронная техника, радиоэлектроника и связь Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроники Контрольно-испытательное оборудование для контроля качества изделий электронной и радиопромышленности Окп Приборы и аппаратура оптические Приборы оптические общепромышленного, специального и научного применения Микроскопы световые, лупы
ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73