Статус: | Действует |
Название рус.: | Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов |
Дата добавления в базу: | 01.02.2020 |
Дата актуализации: | 01.01.2021 |
Дата введения: | 01.01.2019 |
Область применения: | Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов Дельта и Пси (дельта - разность фаз между двумя ортогональными p- и s-компонентами вектора напряженности электрического поля световой волны, отраженной или прошедшей через исследуемый объект, тангенс пси - отношение амплитуд р- и s-компонент вектора напряженности электрического поля световой волны) и средств измерений пространственного распределения эллипсометрических углов дельта (х,у) и пси (х,у) в декартовой системе координат (х,у) для оптического излучения в видимой области спектра устанавливает назначение государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов - градуса, комплекс основных средств измерений, входящих в его состав, основные метрологические характеристики эталона и порядок передачи единиц эллипсометрических углов от государственного первичного эталона с помощью рабочих эталонов 1-го разряда средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи единиц. |
Оглавление: | 1. Область применения 2. Сокращения и обозначения 3. Государственный первичный эталон 4. Рабочие эталоны 1-го разряда 5. Средства измерений Приложение А. Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов |
Утверждён: | 22.10.2018 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (2221) |
Расположен в: | |
Нормативные ссылки: |
|