ГОСТ 26239.8-84
Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
| Обозначение: | ГОСТ 26239.8-84 |
| Обозначение англ: | GOST 26239.8-84 |
| Статус: | Действует |
| Название рус.: | Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния |
| Название англ.: | Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination |
| Дата добавления в базу: | 01.09.2013 |
| Дата актуализации: | 01.01.2021 |
| Дата введения: | 01.01.1986 |
| Оглавление: | 1 Общие требования 2 Аппаратура, материалы и реактивы 3 Подготовка к анализу 4 Проведение анализа 5 Обработка результатов |
| Утверждён: | 13.07.1984 Госстандарт СССР (USSR Gosstandart 2491) |
| Расположен в: |
