РЕКОМЕНДАЦИЯ

ГОСУДАРСТВЕННАЯ СИСТЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА
ИЗМЕРЕНИЙ

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА
ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ
В ДИАПАЗОНЕ 1 · 10^-6 ÷ 50 м И ДЛИН ВОЛН
В ДИАПАЗОНЕ 0,2 ÷ 50 мкм

МИ 2060-90

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО УПРАВЛЕНИЮ
КАЧЕСТВОМ ПРОДУКЦИИ И СТАНДАРТАМ

Москва

1991

РЕКОМЕНДАЦИИ

РЕКОМЕНДАЦИЯ

Государственная система обеспечения единства измерений

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ
СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ
1 · 10^-⁶ ÷ 50 м И ДЛИН ВОЛН В ДИАПАЗОНЕ
0,2 ÷ 50 мкм

МИ 2060-90

Дата введения 01.01.91

Настоящая рекомендация распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений длины в диапазоне 1 · 10^-6 ÷ 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 ÷ 50 мкм и устанавливает порядок передачи размеров единиц длины и частоты от единого эталона единиц времени - секунды (с), частоты - герца (Гц) и длины - метра (м) при помощи вторичных эталонов и образцовых средств измерений рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов поверки.

Поверочная схема состоит из трех частей:

часть 1. Источники излучений и средства измерений длин волн черт. 1;

часть 2. Штриховые меры длины и измерители перемещений (черт. 2);

часть 3. Плоскопараллельные концевые меры длины (черт. 3).

1 ЭТАЛОНЫ

1.1. Единый эталон единиц времени, частоты и длины применяют для воспроизведения и передачи размеров единиц времени и частоты в соответствии с ГОСТ 8.129-83 и размеров единиц длины и частоты оптического диапазона вторичным эталонам методом прямых измерений и сличением при помощи частотного компаратора и мер сравнения в диапазонах 10 ÷ 1000 мм.

1.2. Вторичные эталоны 1-й части

1.2.1. В качестве рабочих эталонов применяют комплекс средств измерений, состоящий из лазеров, стабилизированных по частоте с использованием атомных и молекулярных реперов.

1.2.2. Средние квадратические отклонения результатов сличений S_Σ₀ рабочих эталонов с единым эталоном единиц времени, частоты и длины составляют от 3 · 10^-11 до 1 · 10^-9 при 100 независимых измерениях.

1.2.3. Рабочие эталоны применяют для передачи размеров единиц длины и частоты образцовым средствам измерений 1-го и 2-го разрядов сличением при помощи компаратора и методом прямых измерений, а также рабочим частотно-стабилизированным лазерам непрерывного излучения сличением при помощи компаратора.

1.3. Вторичные эталоны 2-й части

1.3.1. В качестве эталонов-копий применяют интерференционные установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне 0,001 ÷ 1000 мм, с использованием излучения частотно-стабилизированных лазеров.

1.3.2. Средние квадратические отклонения результатов сличений S_Σ эталонов-копий с государственным первичным эталоном единицы длины не должны превышать (0,02 + 0,04L) мкм, где L - длина, м.

1.3.3. Эталоны-копии применяют для поверки рабочих эталонов четырехметрового компаратора с набором штриховых мер длины и геодезических жезлов; образцовых 1-го разряда штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины и рабочих измерителей линейных перемещений методом прямых измерений.

1.3.4. В качестве рабочих эталонов применяют штриховые меры длины и установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне 0,001 - 1000 мм, а также четырехметровый компаратор с набором штриховых мер длины и геодезических жезлов в диапазоне 1000 ÷ 4000 мм.

1.3.5. Доверительные абсолютные погрешности δ рабочих эталонов при доверительной вероятности 0,99 составляют от (0,03 + 0,1L) до 0,3 мкм.

1.3.6. Рабочие эталоны применяют для поверки образцовых 1-го разряда штриховых мер длины, дифракционных голографических мер длины методом прямых измерений и сличением при помощи компаратора, установок для поверки измерительных лент - методом прямых измерений.

1.4. Вторичные эталоны 3-й части

1.4.1. В качестве эталонов-копий применяют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах 0,1 ÷ 100 и 100 ÷ 1000 мм, с использованием излучения частотно-стабилизированных лазеров и спектральных ламп с изотопом кадмия-114.

1.4.2. Средние квадратические отклонения результатов сличений S_Σ эталонов-копий с государственным первичным эталоном единицы длины не должны превышать (0,01 + 0,04L) мкм.

1.4.3. Эталоны-копии применяют для поверки образцовых 1-го разряда плоскопараллельных концевых мер длины и кварцевых геодезических жезлов методом прямых измерений, а также образцовых 1-го разряда приборов для поверки средств измерений внутренних размеров сличением при помощи мер сравнения.

1.4.4. В качестве рабочих эталонов применяют интерференционные установки для поверки плоскопараллельных концевых мер длины в диапазонах 0,1 ÷ 100 и 100 ÷ 1000 мм, с использованием излучения частотно-стабилизированных лазеров, спектральных ламп с изотопом кадмия-114, с естественным криптоном и гелием.

1.4.5. Доверительные абсолютные погрешности δ рабочих эталонов при доверительной вероятности 0,99 не должны превышать (0,02 + 0,1L) мкм.

1.4.6. Рабочие эталоны применяют для поверки образцовых 1-го разряда и рабочих классов точности 00 и 01 плоскопараллельных концевых мер длины в диапазоне 0,1 ÷ 1000 мм методом прямых измерений.

2. ОБРАЗЦОВЫЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

2.1. Образцовые средства измерений 1-й части

2.1.1. Образцовые средства измерений 1-го разряда

2.1.1.1. В качестве образцовых средств измерений 1-го разряда применяют спектральные лампы в диапазоне 0,4 ÷ 0,7 мкм, частотно-стабилизированные лазеры и измерители длин волн лазеров в диапазоне 0,4 ÷ 11 мкм.

2.1.1.2. Доверительные относительные погрешности δ₀ образцовых средств измерений 1-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от 2 · 10^-10 до 7 · 10^-8.

2.1.1.3. Образцовые средства измерений 1-го разряда применяют для поверки образцовых средств измерений 2-го разряда и рабочих частотно-стабилизированных лазеров непрерывного излучения, а также источников излучения, входящих в состав измерителей линейных перемещений (часть 2), сличением при помощи компаратора, методом прямых измерений и непосредственным сличением.

2.1.2. Образцовые средства измерений 2-го разряда

2.1.2.1. В качестве образцовых средств измерений 2-го разряда применяют спектральные лампы и стандартные образцы спектра поглощения и пропускания в диапазоне 0,2 ÷ 50 мкм, частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения, измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне 0,4 ÷ 11 мкм, измерители длин волн лазеров импульсного излучения в диапазоне 0,4 ÷ 1,2 мкм.

2.1.2.2. Доверительные относительные погрешности δ₀ образцовых средств измерений 2-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от 1 · 10^-8 до 1 · 10^-3.

2.1.2.3. Образцовые средства измерений 2-го разряда применяет для поверки рабочих средств измерений методом прямых измерений, сличением при помощи компаратора и непосредственным сличением.

2.2. Образцовые средства измерений 2-й части

2.2.1. Образцовые средства измерений 1-го разряда

2.2.1.1. В качестве образцовых средств измерений 1-го разряда применяют штриховые меры длины, дифракционные голографические меры длины в диапазоне 0,001 ÷ 1000 мм, установки для поверки измерительных лент в диапазоне 0,001 ÷ 24 м и кварцевые геодезические жезлы длиной 1000 и 1200 мм.

2.2.1.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых средств измерений 1-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от (0,02 + 0,2L) мкм до (1 + 1L) мкм.

2.2.1.3. Образцовые средства измерений 1-го разряда применяют для поверки образцовых 2-го разряда и рабочих средств измерений сличением при помощи компаратора и методом прямых измерений.

2.2.2. Образцовые средства измерений 2-го разряда

2.2.2.1. В качестве образцовых средств измерений 2-го разряда применяют штриховые меры длины, голографические измерительные системы линейных перемещений в диапазоне 0,001 ÷ 1000 мм и измерительные ленты в диапазоне 0,001 ÷ 24 м.

2.2.2.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых средств измерений 2-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от (0,2 + 0,5L) мкм до (2 + 2L) мкм.

2.2.2.3. Образцовые средства измерений 2-го разряда применяют для поверки образцовых 3-го и 4-го разрядов и рабочих средств измерений методом прямых измерений, сличением при помощи компаратора и непосредственным сличением.

2.2.3. Образцовые средства измерений 3-го разряда

2.2.3.1. В качестве образцовых средств измерений 3-го разряда применяют штриховые меры длины, растровые измерительные преобразователи в диапазоне 0,1 ÷ 1000 мм и измерительные ленты в диапазоне 0,001 ÷ 50 м.

2.2.3.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых средств измерений 3-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от (1 + 5L) мкм до (10 + 10L) мкм.

2.2.3.3. Образцовые средства измерений 3-го разряда применяют для поверки образцовых 4-то разряда и рабочих средств измерений сличением при помощи компаратора и непосредственным сличением.

2.2.4. Образцовые средства измерений 4-го разряда

2.2.4.1. В качестве образцовых средств измерений 4-го разряда применяют штриховые меры длины в диапазоне 0,1 ÷ 1000 мм.

2.2.4.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых штриховых мер длины 4-го разряда при доверительной вероятности 0,99 не должны превышать (20 + 30L) мкм.

2.2.4.3. Образцовые средства измерений 4-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений непосредственным сличением.

2.3. Образцовые средства измерений 3-й части

2.3.1. Образцовые средства измерений 1-го разряда

2.3.1.1. В качестве образцовых средств измерений 1-го разряда применяют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне 0,1 ÷ 1000 мм, приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне l ÷ 160 мм и кварцевые геодезические жезлы длиной 1000 и 1200 мм.

2.3.1.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых средств измерений 1-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от (0,02 + 0,2L) мкм до (0,05 + 0,5L) мкм.

2.3.1.3. Образцовые средства измерений 1-го разряда применяют для поверки образцовых 2-го разряда и рабочих средств измерений методом прямых измерений и сличением при помощи компаратора.

2.3.2. Образцовые средства измерений 2-го разряда

2.3.2.1. В качестве образцовых средств измерений 2-го разряда применяют установки для поверки измерительных головок в диапазоне 0,1 ÷ 10 мм, установки для поверки измерительных преобразователей и приборов в динамическом режиме в диапазоне 0,005 ÷ 0,2 мм, плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне 0,1 ÷ 1000 мм, приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне 1 ÷ 200 мм и измерительные кольца в диапазоне 1 ÷ 160 мм.

2.3.2.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых средств измерений 2-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от 0,04 до 2 мкм и (0,1 + 1L) мкм.

2.3.2.3. Образцовые средства измерений 2-го разряда применяют для поверки образцовых 3-го разряда и рабочих средств измерений сличением при помощи компаратора и методом прямых измерений.

2.3.3. Образцовые средства измерений 3-го разряда

2.3.3.1. В качестве образцовых средств измерений 3-го разряда применяют плоскопараллельные концевые меры длины и измерительные системы гибких производственных модулей в диапазоне 0,1 ÷ 1000 мм, измерительные кольца в диапазоне 1 ÷ 160 мм и приборы для поверки средств измерений внутренних размеров в диапазоне 1 ÷ 200 мм.

2.3.3.2. Доверительные абсолютные погрешности δ образцовых средств измерений 3-го разряда при доверительной вероятности 0,99 составляют от (0,1 + 1L) до (0,02 + 2L) мкм.

2.3.3.3. Образцовые средства измерений 3-го разряда применяют для поверки образцовых 4-го разряда и рабочих средств измерений методом прямых измерений и сличением при помощи компаратора.

2.3.4. Образцовые средства измерений 4-го разряда

2.3.4.1. В качестве образцовых средств измерений 4-го разряда применяют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне 0,1 ÷ 1000 мм, приборы для поверки индикаторов и индикаторных нутромеров в диапазоне 0 ÷ 10 мм и измерительные кольца в диапазоне 1 ÷ 160 мм.

2.3.4.2. Доверительные абсолютные погрешности δ при доверительной вероятности 0,99 образцовых средств измерений 4-го разряда составляют от (0,2 + 2L) мкм до (0,5 + 5L) мкм.

2.3.4.3. Образцовые средства измерений 4-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений методом прямых измерений и сличением при помощи компаратора.

3. РАБОЧИЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

3.1. Рабочие средства измерений 1-й части

3.1.1. В качестве рабочих средств измерений применяют спектрометры и спектрофотометры в диапазоне 0,2 ÷ 50 мкм, частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения и частотно-стабилизированные и нестабилизированные лазеры непрерывного излучения - меры длин волн в диапазоне 0,4 ÷ 11 мкм, измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные спектрометры в диапазоне 0,4 ÷ 11 мкм, измерители длин волн лазеров импульсного излучения и лазеры импульсного излучения в диапазоне 0,4 ÷ 1,2 мкм.

3.1.2. Доверительные относительные погрешности δ₀ частотно-стабилизированных лазеров повышенной точности и стабильности при доверительной вероятности 0,99 составляют от 1 · 10^-10 до 3 · 10^-8.

Пределы допускаемых относительных погрешностей ∆₀ рабочих средств измерений составляют от 3 · 10^-8 до 1 · 10^-2.

3.2. Рабочие средства измерений 2-й части

3.2.1. В качестве рабочих средств измерений применяют измерители линейных перемещений в диапазоне 0,01 ÷ 30000 мм, штриховые меры длины в диапазоне 0,1 ÷ 2000 мм классов точности 0; 1; 2; 3; 4; 5; измерительные преобразователи линейных перемещений в диапазоне 0 ÷ 32000 мм; приборы для измерений наружных и внутренних размеров в диапазоне 0 ÷ 1000 мм; складные меры и измерительные линейки в диапазоне 0 ÷ 1000 мм, нивелирные рейки в диапазоне 0 ÷ 4000 мм, лесные вилки в диапазоне 1 ÷ 750 мм; измерительные рулетки длиной до 50 м класса точности 1 и длиной до 100 м классов точности 2 и 3; землемерные ленты длиной до 50 м, мерные проволоки длиной до 24 м.

3.2.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей ∆ рабочих средств измерений составляют от 0,05 мкм до 14 мм.

3.3. Рабочие средства измерений 3-й части

3.3.1. В качестве рабочих средств измерений применяют плоскопараллельные концевые меры длины в диапазоне 0,1 ÷ 1000 мм классов точности 00; 01; 0,1; 2; 3; 4; 5; контактные интерферометры с ценой деления 0,02 ÷ 0,2 мкм; преобразователи, приборы автоматизированного контроля, средства измерений, работающие в динамическом режиме; приборы для измерений наружных и внутренних размеров, штангенинструмент в диапазонах 0 ÷ 2500 мм; средства автоматизированного контроля гибких производственных систем в диапазоне 0 ÷ 500 мм; установочные кольца в диапазоне 1 ÷ 160 мм; установочные концевые меры, проволочки и ролики для измерений среднего диаметра резьбы; принадлежности к концевым мерам длины (боковики).

3.3.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей ∆ рабочих средств измерений составляют от 0,02 мкм до 1 мм.

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. РАЗРАБОТАНА И ВНЕСЕНА Государственным комитетом СССР по управлению качеством продукции и стандартам

РАЗРАБОТЧИКИ

Е.И. Латышева (руководитель темы); Г.И. Лейбенгардт (руководитель темы); Л.Ю. Абрамова; Ц.И. Глозман; Ю.П. Ефремов, канд. техн. наук; В.Л. Шур, канд. техн. наук

2. УТВЕРЖДЕНА НТК Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам 13.03.90

3. ЗАРЕГИСТРИРОВАНА ВНИИМС 13.03.90

4. ВЗАМЕН ГОСТ 8.101-80 и ГОСТ 8.020-75