Обозначение: |  ГОСТ Р 71656-2024 |
Статус: | принят |
Название рус.: | Изделия электронной техники. Электрохимический метод определения толщины слоев многослойных тонкопленочных структур |
Название англ.: | Electronic equipment products. Electrochemical method for determining the thickness of layers of multilayer thin-film structures |
Дата актуализации текста: | 01.12.2024 |
Дата актуализации описания: | 01.12.2024 |
Дата издания: | 15.10.2024 |
Дата введения: | 01.03.2025 |
Нормативные ссылки: | ГОСТ 9.008; ГОСТ 12.1.004; ГОСТ 12.1.005; ГОСТ 12.1.016; ГОСТ 12.1.019; ГОСТ 12.1.030; ГОСТ 12.2.003; ГОСТ 12.3.019; ГОСТ 12.4.009; ГОСТ 1770; ГОСТ 2603; ГОСТ 3652; ГОСТ 4168; ГОСТ 4204; ГОСТ 4207; ГОСТ 10067; ГОСТ 13867; ГОСТ 22752; ГОСТ 24363; ГОСТ Р 53228; ГОСТ Р 58144; ГОСТ Р 58593 |
Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на изделия электронной техники (далее – изделия) и устанавливает электрохимический метод определения толщины слоев многослойных тонкопленочных структур, состоящих из следующих веществ: Mo – MoNi – Ni; V – VSi2; Mo – MoSi2; V – VAl3 – V5Al8 – Al; Ni – TiNi – (TiNi + Ti2Ni) – Ti; Al – Al3Ni – Al3Ni2 – Ni; Ag – Cr; Sn – Sn5Cu6 – SnCu3; OBu – Sn5Cu6 – SnCu6 – SnCu3; пос – Sn5Cu6 – SnCu3. Настоящий стандарт следует применять при контроле технологических процессов изготовления изделий электронной техники и анализе отказов |
|
Расположен в: |
|