| Обозначение | Дата введения | Статус |
 ГОСТ 2.796-81 Единая система конструкторской документации. Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных систем | 01.01.1983 | заменён |
Название англ.: Unified system for design documentation. Graphic designations in schemes. Elements of vacuum systems Область применения: Настоящий стандарт устанавливает условные графические обозначения элементов вакуумных систем в схемах всех отраслей промышленности, выполняемых вручную или автоматизированным способом. Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 2181-80. Нормативные ссылки:  ГОСТ 2.796-95, СТ СЭВ 2181-80 |
 ГОСТ 2.796-95 Единая система конструкторской документации. Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных систем | 01.01.1997 | действует |
| Название англ.: Unified system for design documentation. Graphic designations in schemes. Element of vacuum systems Область применения: Настоящий стандарт устанавливает условные графические обозначения элементов вакуумных систем всех отраслей промышленности Нормативные ссылки: ГОСТ 2.796-81, ГОСТ 2.721-74;ГОСТ 2.784-96;ГОСТ 2.785-70;ГОСТ 2.788-74 |
| ГОСТ 2.797-81 Единая система конструкторской документации. Правила выполнения вакуумных схем | 01.01.1983 | заменён |
| Название англ.: Unified system for design documentation. Rules for presentation of vacuum schemes Область применения: Настоящий стандарт устанавливает правила выполнения вакуумных схем вакуумных систем всех отраслей промышленности Нормативные ссылки: ГОСТ 2.797-2016, СТ СЭВ 2517-80, ГОСТ 2.701-2008;ГОСТ 2.704-2011;ГОСТ 2.721-74;ГОСТ 2.784-96;ГОСТ 2.785-70;ГОСТ 2.796-95 |
| ГОСТ 5.1150-71 Насосы высоковакуумные диффузионные типа НВД. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.01.1972 | действует |
| Название англ.: High vacuum diffusion pumps type НВД. Quality requirements of certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на высоковакуумные диффузионные насосы типа НВД с быстротой откачки 0,15 и 0,25 куб.м/с (150 и 250 л/с). Насосы предназначены для откачки воздуха, неагрессивных газов, паров и паро-газовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений во взрывобезопасном помещении при температуре окружающего воздуха от 10 до 30 гра.С, относительной влажности 65 плюс минус 15% и атмосферном давлении 750 плюс минус 30 мм рт.ст Нормативные ссылки: ГОСТ 1.9-67;ГОСТ 1012-54;ГОСТ 13168-69;ГОСТ 10354-63;ГОСТ 3956-54;ГОСТ 515-56 |
| ГОСТ 5.1807-73 Насос геттерно-ионный типа ГИН-0,5-1М. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.02.1973 | действует |
| Название англ.: Type-ГИН-0,5-1М getter-ion pump. Quality requirements of certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на геттерно-ионный насос типа ГИН-0,5-1М, предназначенный для получения высокого и сверхвысокого вакуума откачкой воздуха и других неагрессивных газов, не воздействующих на материалы конструкции насоса, и для безмасляной откачки электровакуумных приборов Нормативные ссылки: ГОСТ 15150-69;ГОСТ 443-56;ГОСТ 5962-67;ГОСТ 16468-70;ГОСТ 13377-67;ГОСТ 12971-67;ГОСТ 1.9-67;ГОСТ 2930-62;ГОСТ 13168-69;ГОСТ 10354-63;ГОСТ 3956-54;ГОСТ 11680-65;ГОСТ 14192-69 |
| ГОСТ 5197-85 Вакуумная техника. Термины и определения | 01.07.1986 | действует |
| Название англ.: Vacuum technology. Terms and definitions Область применения: Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий в области вакуумной техники Нормативные ссылки: ГОСТ 5197-70, CT CЭB 4751-84;CT CЭB 4839-84;CT CЭB 4840-84 |
| ГОСТ 9887-70 Механизмы исполнительные пневматические мембранные ГСП. Общие технические условия | 01.07.1973 | действует |
| Название англ.: Diaphragm pneumatic actuators SSI. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на пневматические мембранные пружинные исполнительные механизмы Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации, предназначенные для управления регулирующими и запорными органами исполнительных устройств в системах управления производственными процессами и для управления регулирующей арматурой Нормативные ссылки: ГОСТ 9887-61, ГОСТ 13373-67;ГОСТ 13053-67;ГОСТ 9468-60;ГОСТ 11882-66;ГОСТ 6111-52;ГОСТ 14765-69;ГОСТ 13216-67;ГОСТ 13168-69;ГОСТ 2991-61 |
| ГОСТ 9986-78 ГСП. Преобразователи электропневматические аналоговые. Общие технические условия | 01.07.1979 | действует |
| Название англ.: SSI. Electropneumatic analogue transducers. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на электропневматические аналоговые преобразователи, входящие в комплекс государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), эквивалентно преобразующие электрические аналоговые токовые сигналы и сигналы напряжения постоянного тока в аналоговый пневматический сигнал. Преобразователи предназначены для связи электрических аналоговых приборов и устройств ГСП и электрических машин с пневматическими приборами и устройствами ГСП Нормативные ссылки: ГОСТ 9986-67, ГОСТ 8.009-84;ГОСТ 26.011-80;ГОСТ 26.015-81;ГОСТ 27.410-87;ГОСТ 10434-82;ГОСТ 12997-84;ГОСТ 13053-76;ГОСТ 14254-96;ГОСТ 17433-80;ГОСТ 22782.0-81;ГОСТ 25165-82;ГОСТ 27883-88 |
| ГОСТ 9988-84 Устройства регулирующие пневматические ГСП. Общие технические условия | 01.07.1985 | действует |
| Название англ.: Pneumatic regulator devices of SSI. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на пневматические (с унифицированным пневматическим выходным сигналом) регулирующие устройства Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), предназначенные для использования в системах автоматического контроля, регулирования и управления параметрами промышленных технологических процессов (регуляторы, выполненные в виде самостоятельных устройств), а также для встраивания в приборы ГСП и не используемые как самостоятельные устройства Нормативные ссылки: ГОСТ 9988-73, СТ СЭВ 5169-85, ГОСТ 26.015-81;ГОСТ 27.410-87;ГОСТ 2991-85;ГОСТ 7933-89;ГОСТ 12997-84;ГОСТ 13045-81;ГОСТ 13053-76;ГОСТ 14192-96;ГОСТ 15150-69;ГОСТ 21140-88;ГОСТ 25165-82;ГОСТ 27883-88 |
| ГОСТ 13373-67 Механизмы исполнительные пневматические мембранные ГСП. Основные параметры и размеры | 01.07.1968 | действует |
| Название англ.: Actuating pneumatic diaphragm-spring straight motion mechanisms SSI. Types. Basic parameters and dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на пневматические мембранные пружинные исполнительные механизмы Государственной системы промышленных приборов исредств автоматизации, изготавливаемые по ГОСТ 9887—70 Нормативные ссылки: ГОСТ 9887-70;ГОСТ 9150-59;ГОСТ 9253-59;ГОСТ 6111-52 |
| ГОСТ 14715-88 Арматура вакуумная. Типы. Основные параметры | 01.01.1990 | действует |
| Название англ.: Vacuum valves. Types. Main charecteristics Область применения: Настоящий стандарт распространяется на сверхвысоковакуумные угловые клапаны и прямоходные затворы климатического исполнения УХЛ 4 и О4 по ГОСТ 15150, работающие в диапазоне давлений до 1х10 в ст. минус 7 Па и имеющие уплотнители, выполненные из термостойкой резины и допускающие прогрев до температуры не ниже 150 град. С Нормативные ссылки: ГОСТ 14715-77;ГОСТ 14716-77;ГОСТ 14717-77;ГОСТ 14718-77, ГОСТ 15150-69;ГОСТ 24934-81;ГОСТ 24935-81;ГОСТ 25197-82;ГОСТ 26526-85 |
| ГОСТ 18626-73 Проходы условные элементов вакуумных систем. Основные размеры | 01.01.1976 | утратил силу в РФ |
| Название англ.: Bore diameters of components of vacuum systems. Basical dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на элементы вакуумных систем и устанавливает ряд номинальных размеров условных проходов Нормативные ссылки: СТ СЭВ 1078-78, ГОСТ Р 52912-2008 |
| ГОСТ 24206-80 Приборы и устройства пневматические для математических операций ГСП. Общие технические условия | 01.01.1982 | действует |
| Название англ.: Pneumatic mathematic operation instruments and devicas SSI. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на пневматические приборы и устройства Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), предназначенные для выполнения математических операций с унифицированными аналоговыми пневматическими сигналами Нормативные ссылки: ГОСТ 16134-70;ГОСТ 17560-72, ГОСТ 26.015-81;ГОСТ 27.410-87;ГОСТ 2939-63;ГОСТ 12997-84;ГОСТ 13053-76;ГОСТ 17433-80;ГОСТ 27883-88 |
| ГОСТ 24934-81 Оборудование вакуумное. Фланцы неподвижные винтовые. Основные и присоединительные размеры | 01.01.1982 | утратил силу в РФ |
| Название англ.: Vacuum equipment. Fixed screw flanges. Basic and allied dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на неподвижные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает основные и присоединительные размеры неподвижных винтовых фланцев с условными проходами от 10 до 1000 мм ряда R5 по ГОСТ 8032 Нормативные ссылки: ГОСТ Р 52856-2007, ISO 1609-1986-03-15;ГОСТ 8032-84 |
| ГОСТ 24935-81 Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры | 01.01.1982 | утратил силу в РФ |
| Название англ.: Vacuum equipment. Turning screw flanges. Basic and allied dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на поворные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, и устанавливает основные и присоединительные размеры опорных и накидных фланцев, распорных и центрирующих колец для условных проходов от 10 до 630 мм ряда R5 Нормативные ссылки: ГОСТ Р 52856-2007, ГОСТ 8032-84 |
| ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования | 01.07.1983 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники Нормативные ссылки: СТ СЭВ 2760-80, ГОСТ 24786-81 |
| ГОСТ 25197-82 Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры | 01.07.1983 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Direct and angle vacuum valves. Mounting dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на прямые и угловые клапаны с фланцевыми соединениями, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры для клапанов с условными проходами от 10 до 400 мм ряда R5 Нормативные ссылки: СТ СЭВ 2761-80, ГОСТ 8032-84;ГОСТ 24934-81;ГОСТ 24935-81 |
| ГОСТ 25198-82 Оборудование вакуумное. Соединения вакуумных трубопроводов. Установочные размеры | 01.07.1983 | утратил силу в РФ |
| Название англ.: Vacuum equipment. Connections of vacuum pipe-lines. Mounting dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины), применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры соединений вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 650 мм ряда R5 Нормативные ссылки: СТ СЭВ 2762-80, ГОСТ Р ИСО 9803-1-2013, ГОСТ 8032-84;ГОСТ 24934-81;ГОСТ 24935-81;СТ СЭВ 298-76 |
| ГОСТ 25662-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний | 01.01.1984 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods Область применения: Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций Нормативные ссылки: Утратил силу на территории РФ в части измерения критического давления на выходе, с 01.07.2011 действует ГОСТ Р 54108-2010, ГОСТ Р 54108-2010, ГОСТ 5197-85;ГОСТ 26790-85;СТ СЭВ 3407-81 |
| ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний | 01.01.1984 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Mechanical vacuum pumps. Test methods Область применения: Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия Нормативные ссылки: Утратил силу на территории РФ в части измерения предельного остаточного давления, с 01.07.2011 действует ГОСТ Р 54107-2010, СТ СЭВ 3409-81, ГОСТ Р 54107-2010, ГОСТ 5197-85;ГОСТ 26790-85 |
| ГОСТ 26099-84 Насосы вакуумные поршневые. Типы и основные параметры | 01.01.1985 | действует |
| Название англ.: Reciprocating vacuum pumps. Types and basic parameters Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумные поршневые насосы с водяным охлаждением, предназначенные для откачки воздуха охлаждением, предназначенные для откачки воздуха и неагрессивных газов, предварительно очищенных от капельной влаги и механических примесей |
| ГОСТ 32974.1-2016 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 1. Общие положения | 01.01.2018 | действует |
| Название англ.: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum pump performance. Part 1. General description Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы и устанавливает три различных метода определения быстроты действия, степени сжатия, измерения базового и наибольшего выпускного давлений Нормативные ссылки: ISO 21360-1:2012, ГОСТ ИСО/МЭК 17025-2009 |
| ГОСТ 32974-2014 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 2. Вакуумные насосы объемного действия | 01.09.2015 | действует |
| Название англ.: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 2. Positive displacement vacuum pumps Область применения: Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия. Стандарт устанавливает требования к методикам измерений быстроты действия, базового давления, наибольшего давления паров воды, потребляемой мощности и минимальной температуры запуска насосов объемного действия, которые осуществляют выхлоп газа при атмосферном давлении, с предельным давлением обычно менее 10 кПа. В настоящем стандарте необходимо использовать определения быстроты действия и базового давления. Настоящий стандарт также применяется при проведении испытаний других типов насосов, выпускающих газ при атмосферном давлении Нормативные ссылки: ISO 21360-2:2012 |
| ГОСТ 33517-2015 Вакуумная технология. Угловые клапаны. Размеры и условия подключения для пневматических приводов | 01.01.2017 | действует |
| Область применения: Настоящий стандарт устанавливает размеры угловых клапанов, совместимых с установочными размерами фланцев, приведенных в [1] и [2] Нормативные ссылки: ISO 21358:2007, ГОСТ 24934-81;ГОСТ 24935-81;ГОСТ ISO 3669-2014 |
| ГОСТ 33518-2015 Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Измерение рабочих характеристик | 01.01.2017 | действует |
| Область применения: Настоящий стандарт определяет методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных насосов. Он применяется для всех типоразмеров турбомолекулярных насосов с механическими или магнитными подшипниками; и с или без дополнительной молекулярной ступени Нормативные ссылки: ISO 5302:2003, ГОСТ 5197-85 |
| ГОСТ 33866-2016 Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Измерение крутящего момента для быстрого выключения | 01.01.2018 | действует |
| Название англ.: Vacuum technology. Turbomolecular pumps. Measurement of rapid shutdown torque Область применения: Настоящий стандарт распространяется на турбомолекулярные и молекулярные насосы и устанавливает метод измерения крутящего момента для быстрого выключения (разрушающего крутящего момента) насосов, в которых газовый импульс создается наклонными пластинами с осевым направлением потока и/или спиральными каналами Нормативные ссылки: ISO 27892:2010 |
| ГОСТ 34348-2017 Вакуумная техника. Вакуумметры. Оценивание неопределенностей результатов калибровки при непосредственном сличении с эталоном | 01.03.2019 | действует |
| Название англ.: Vacuum technology. Vacuum gauges. Evaluation of the uncertainties of results of calibrations by direct comparison with a reference gauge Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумметры и устанавливает общие правила оценивания и представления неопределенности измерений, которые следует соблюдать в процессе калибровки вакуумметров методом непосредственного сличения с эталоном в соответствии. Настоящий стандарт описывает методы единообразного представления неопределенностей в сертификатах о калибровке вакуумметров. Неопределенность, представленная в соответствии с данными рекомендациями, является передаваемой в том смысле, что неопределенность, оцененная для конкретного результата, может быть использована как составляющая неопределенности другого измерения или калибровки, в которых использован первый результат. Настоящий стандарт определяет две модели измерения, которых достаточно для охвата большинства практических случаев. Однако возможно, что представленные модели могут быть неприменимы к разрабатываемым вакуумметрам. Неопределенность измерений, которая должна указываться в сертификате о калибровке, определяется из неопределенностей входных и влияющих величин. Основные величины, которые могут повлиять на результат калибровки, приведены в настоящем стандарте, но полный перечень возможных величин, которые могут оказывать влияние на конечный результат, выходит за рамки настоящего стандарта Нормативные ссылки: ISO 27893:2011 |
| ГОСТ ISO 3669-2014 Вакуумная техника. Прогреваемые фланцы. Размеры | 01.09.2015 | действует |
| Область применения: Настоящий стандарт устанавливает размеры неподвижных или поворотных прогреваемых фланцев, соединяемых болтами, которые используются в вакуумных системах при давлении в установившемся режиме менее 10 в степени -5 Па (7,5*10 в степени -8 мм рт. ст.) - то есть при сверхвысоком вакууме. Эти фланцы могут также использоваться в соединениях вакуумных систем с низким вакуумом (при более высоком давлении). Выделяют два типа прогреваемых фланцев: - предпочтительный тип (см. рисунок 1 и таблицу 1), основные размеры которого обеспечивают совместимость с уже стандартизированными непрогреваемыми фланцами (см. ISO 1609); - второстепенный тип (см. рисунок 2 и таблицу 2), соответствующий обычно используемым фланцам Нормативные ссылки: ISO 3669:1986, ISO 3;ISO 286;ISO 1609 |
| ГОСТ Р 52615-2006 Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы | 01.03.2007 | действует |
| Название англ.: Compressors and vacuum pumps. Safety requirements. Part 2. Vacuum pumps Область применения: Настоящий стандарт распространяется на все типы вакуумных насосов, комбинаций вакуумных насосов и вакуумные системы и устанавливает основные виды опасностей, исходящие от вакуумных насосов. Стандарт устанавливает требования безопасности, предъявляемые к насосам, их транспортированию и хранению, установке, эксплуатации, техническому обслуживанию и демонтажу во время предполагаемого срока эксплуатации и последующей утилизации. Настоящий стандарт не распространяется на насосы для непрерывного откачивания в открытых системах, в которых давление на входе насоса не падает ниже 75 кПа (например в пылесосах, вентиляторах). Требования, для отдельных типов насосов могут быть дополнены в соответствии с требованиями нормативных документов на насос конкретного типа Нормативные ссылки: EN 1012-2:1996, ГОСТ Р 12.4.026-2001;ГОСТ Р 51334-99;ГОСТ Р 51336-99;ГОСТ Р 51337-99;ГОСТ Р 51342-99;ГОСТ Р МЭК 60204.1-99;ГОСТ 2.601-2006;ГОСТ 12.1.012-90;ГОСТ 5197-85;ГОСТ 30691-2001;ГОСТ ИСО/ТО 12100-1-2001;ГОСТ ИСО/ТО 12100-2-2002 |
| ГОСТ Р 52715-2007 Оборудование вакуумное. Соединительные части трубопровода. Установочные размеры | 01.09.2007 | заменён |
| Название англ.: Vacuum equipment. Pipeline fittings. Mounting dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины) и устанавливает установочные размеры для соединительных частей вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 630 мм ряда R5 Нормативные ссылки: ГОСТ Р ИСО 9803-1-2013, ISO 9803:1993, ГОСТ 24934-81;ГОСТ 24935-81;СТ СЭВ 298-76 |
| ГОСТ Р 52856-2007 Оборудование вакуумное. Размеры фланцев | 01.06.2008 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Flange dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на неподвижные, опорные и накидные фланцы, а также на установочные и центрирующие кольца, обеспечивающие герметичность вакуумных соединений, и устанавливает их основные и присоединительные размеры. Указанные размеры обеспечивают взаимозаменяемость неподвижных, опорных и накидных фланцев Нормативные ссылки: ISO 1609:1986, ГОСТ 8032-84;ГОСТ 9389-75;ГОСТ 18143-72;ГОСТ 28961-91 |
| ГОСТ Р 52912-2008 Диаметры номинальные элементов вакуумных систем. Ряды | 01.09.2008 | действует |
| Название англ.: Nominal diameters of components of vacuum systems. Series Область применения: Настоящий стандарт распространяется на элементы вакуумных систем и устанавливает ряд значений номинальных диаметров, а также их обозначения Нормативные ссылки: ГОСТ 8032-84 |