ГОСТ Р 8.640-2008

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Обозначение: ГОСТ Р 8.640-2008
Статус:действует
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Название англ.:State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата актуализации текста:06.04.2015
Дата актуализации описания:01.07.2023
Дата издания:15.05.2008
Дата введения:01.01.2009
Нормативные ссылки:ГОСТ 8.207-76;ГОСТ 8.552-2001
Область применения:Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Расположен в:Государственные стандарты Общероссийский классификатор стандартов Метрология и измерения. Физические явления Метрология и измерения в целом Классификатор государственных стандартов Общетехнические и организационно-методические стандарты Государственная система измерений Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы Тематические сборники Государственная система обеспечения единства измерений.
ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008