ГОСТ Р 8.640-2008

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Обозначение:	ГОСТ Р 8.640-2008
Статус:	действует
Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Название англ.:	State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата актуализации текста:	06.04.2015
Дата актуализации описания:	01.07.2023
Дата издания:	15.05.2008
Дата введения:	01.01.2009
Нормативные ссылки:	ГОСТ 8.207-76;ГОСТ 8.552-2001
Область применения:	Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Расположен в:	Государственные стандарты Общероссийский классификатор стандартов Метрология и измерения. Физические явления Метрология и измерения в целом Классификатор государственных стандартов Общетехнические и организационно-методические стандарты Государственная система измерений Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы Тематические сборники Государственная система обеспечения единства измерений.