ГОСТ Р 8.659-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

Обозначение:	ГОСТ Р 8.659-2009
Статус:	действует
Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Название англ.:	State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure
Дата актуализации текста:	01.01.2021
Дата актуализации описания:	01.07.2023
Дата издания:	12.08.2019
Дата введения:	01.01.2011
Нормативные ссылки:	ГОСТ 8.197;ГОСТ 8.552;ГОСТ Р 8.736
Область применения:	Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Расположен в:	Государственные стандарты Общероссийский классификатор стандартов Метрология и измерения. Физические явления Метрология и измерения в целом Классификатор государственных стандартов Общетехнические и организационно-методические стандарты Государственная система измерений Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы Тематические сборники Государственная система обеспечения единства измерений.