ГОСТ Р 8.659-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

Обозначение: ГОСТ Р 8.659-2009
Статус:действует
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Название англ.:State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure
Дата актуализации текста:01.01.2021
Дата актуализации описания:01.07.2023
Дата издания:12.08.2019
Дата введения:01.01.2011
Нормативные ссылки:ГОСТ 8.197;ГОСТ 8.552;ГОСТ Р 8.736
Область применения:Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Расположен в:Государственные стандарты Общероссийский классификатор стандартов Метрология и измерения. Физические явления Метрология и измерения в целом Классификатор государственных стандартов Общетехнические и организационно-методические стандарты Государственная система измерений Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы Тематические сборники Государственная система обеспечения единства измерений.
ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009