ГОСТ Р 71422-2024
Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа
| Обозначение: |   ГОСТ Р 71422-2024 |
| Статус: | принят |
| Название рус.: | Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа |
| Название англ.: | The epitaxial structures and dielectric films. Method for measuring the thickness of gallium arsenide epitaxial layers based on a spherical section |
| Дата актуализации текста: | 01.12.2024 |
| Дата актуализации описания: | 01.12.2024 |
| Дата издания: | 13.06.2024 |
| Дата введения: | 01.03.2025 |
| Нормативные ссылки: |  ГОСТ 12.1.004;ГОСТ 12.2.003; ГОСТ 12.3.019;ГОСТ 12.4.005;ГОСТ 12.4.121;ГОСТ 12.4.253;ГОСТ 3118;ГОСТ 5556;ГОСТ 6259;ГОСТ 6552;ГОСТ 10929;ГОСТ 11125;ГОСТ 20010;ГОСТ 22622;ГОСТ 29298;ГОСТ Р 55878;ГОСТ Р 58144 |
| Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на эпитаксиальные структуры арсенида галлия и устанавливает метод измерения толщины активного, контактного п+ и буферного п+ эпитаксиальных слоев в структурах галлия |
| Расположен в: | |
