| Обозначение | Дата введения | Статус |
  ГОСТ 5.1800-73 Установка для финишной очистки воды типа УФ-400А. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.03.1973 | действует |
Название англ.: Plants for water final refinements of УФ-400А type. Quality requirements of certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установку для финишной очистки деионизованной воды, предназначенную для получения глубокообессоленной воды методом ионного обмена Нормативные ссылки:  ГОСТ 2.601-68;ГОСТ 20301-74;ГОСТ 20298-74;ГОСТ 15150-69;ГОСТ 8038-60;ГОСТ 8625-69;ГОСТ 12969-67;ГОСТ 12971-67;ГОСТ 10354-72;ГОСТ 3956-54;ГОСТ 12328-66;ГОСТ 10198-71;ГОСТ 10354-73;ГОСТ 8828-61;ГОСТ 14192-71 |
| ГОСТ 5.1807-73 Насос геттерно-ионный типа ГИН-0,5-1М. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.02.1973 | действует |
| Название англ.: Type-ГИН-0,5-1М getter-ion pump. Quality requirements of certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на геттерно-ионный насос типа ГИН-0,5-1М, предназначенный для получения высокого и сверхвысокого вакуума откачкой воздуха и других неагрессивных газов, не воздействующих на материалы конструкции насоса, и для безмасляной откачки электровакуумных приборов Нормативные ссылки: ГОСТ 15150-69;ГОСТ 443-56;ГОСТ 5962-67;ГОСТ 16468-70;ГОСТ 13377-67;ГОСТ 12971-67;ГОСТ 1.9-67;ГОСТ 2930-62;ГОСТ 13168-69;ГОСТ 10354-63;ГОСТ 3956-54;ГОСТ 11680-65;ГОСТ 14192-69 |
| ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования | 01.07.1983 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники Нормативные ссылки: СТ СЭВ 2760-80, ГОСТ 24786-81 |
| ГОСТ 25661-83 Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования | 01.01.1984 | действует |
| Название англ.: Installations for final water treatment. General technical requirement Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции Нормативные ссылки: СТ СЭВ 3406-83 |
| ГОСТ 27716-88 Фотошаблоны печатных плат. Общие технические условия | 01.07.1989 | действует |
| Название англ.: Masks for printed boards. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на рабочие фотошаблоны, предназначенные для изготовления односторонних, двусторонних, многослойных печатных плат на гибком и жестком диэлектрическом основании и гибких печатных кабелей, разработанных по ГОСТ 23751-86 Нормативные ссылки: ГОСТ 2.201-80;ГОСТ 2.601-68;ГОСТ 427-75;ГОСТ 5007-87;ГОСТ 5959-80;ГОСТ 14192-77;ГОСТ 16272-79;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 23216-78;ГОСТ 23751-86 |
| ГОСТ Р 50139-92 Оборудование технологическое для сборочно-монтажного производства радиоэлектронных средств. Общие технические условия | 01.07.1993 | действует |
| Название англ.: Processing equipment. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на сборочно-монтажное технологическое оборудование, предназначенное для механизации и автоматизации технологических процессов электрического монтажа и сборки радиоэлектронных средств (РЭС). По условиям эксплуатации оборудование должно соответствовать исполнению УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15150 со степенью защиты корпуса от пыли и брызг IР44 по ГОСТ 14254 Нормативные ссылки: ГОСТ 2.106-68;ГОСТ 9.014-78;ГОСТ 9.032-74;ГОСТ 12.0.003-74;ГОСТ 12.1.005-88;ГОСТ 12.1.028-80;ГОСТ 12.2.003-91;ГОСТ 12.2.007.0-75;ГОСТ 12.4.026-76;ГОСТ 12.4.040-78;ГОСТ 15.001-88;ГОСТ 26.008-85;ГОСТ 27.203-83;ГОСТ 27.410-87;ГОСТ 1033-79;ГОСТ 2991-85;ГОСТ 3560-73;ГОСТ 3956-76;ГОСТ 5959-80;ГОСТ 8032-84;ГОСТ 8828-89;ГОСТ 9569-79;ГОСТ 10198-91;ГОСТ 10923-82;ГОСТ 14192-77;ГОСТ 14202-69;ГОСТ 14254-80;ГОСТ 15150-69;ГОСТ 16272-79;ГОСТ 16842-82;ГОСТ 17108-86;ГОСТ 17216-71;ГОСТ 17433-80;ГОСТ 18680-73;ГОСТ 18698-79;ГОСТ 19034-82;ГОСТ 21130-75;ГОСТ 22613-77;ГОСТ 22614-77;ГОСТ 22615-77;ГОСТ 23000-78;ГОСТ 23450-79;ГОСТ 23852-79;ГОСТ 24686-81;ГОСТ 26014-83;СНиП 11-4-79;СН 245-78;ТУ 16.К71.087-90 |