| Обозначение | Дата введения | Статус |
  ГОСТ 4.64-80 Система показателей качества продукции. Полупроводниковые материалы. Номенклатура показателей | 01.07.1981 | действует |
| Название англ.: Production quality system. Semiconductor materials. Indices nomenсlature Область применения: Настоящий стандарт устанавливает номенклатуру основных показателей качества объемных монокристаллов полупроводниковых материалов, включаемых в ТЗ на НИР по определению перспектив развития этой группы продукции, государственные стандарты с перспективными требованиями, а также номенклатуру показателей качества, включаемых в разрабатываемые и перспективные стандарты на продукцию, ТЗ на ОКР, технические условия, карты технического уровня и качества продукции |
| ГОСТ 2169-69 Кремний технический. Технические условия | 01.07.1970 | действует |
Название англ.: Silicon technical. Specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на кремний, получаемый путем восстановительной плавки кварцита в дуговых электропечах, предназначенный для изготовления кремнийсодержащих сплавов, кремнийорганической продукции, полупроводникового кремния, а также для спеццелей Нормативные ссылки:  ГОСТ 2169-43, ГОСТ 427-75;ГОСТ 2991-85;ГОСТ 5336-80;ГОСТ 6247-79;ГОСТ 6613-86;ГОСТ 8777-80;ГОСТ 13950-91;ГОСТ 14192-96;ГОСТ 19014.0-73;ГОСТ 19014.1-73;ГОСТ 19014.2-73;ГОСТ 19014.3-73;ГОСТ 19014.4-73;ГОСТ 26663-85;БДС 9617-72;СТ СЭВ 543-77;ТУ 10.10.739-88 |
| ГОСТ 19014.0-73 Кремний кристаллический. Общие требования к методам химического анализа | 01.01.1975 | действует |
| Название англ.: Crystal silicon. General requirements for methods of chemical analysis Область применения: Настоящий стандарт устанавливает общие требования к методам химического анализа кристаллического кремния Нормативные ссылки: ГОСТ 2178-54 в части разд. I, II, ГОСТ 8.505-84;ГОСТ 1770-74;ГОСТ 2169-69;ГОСТ 6563-75;ГОСТ 6613-86;ГОСТ 20292-74;ГОСТ 24104-88;ГОСТ 25086-87;ГОСТ 25336-82 |
| ГОСТ 19014.1-73 Кремний кристаллический. Методы определения алюминия | 01.01.1975 | действует |
| Название англ.: Crystal silicon. Methods of aluminium determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает титриметрический и атомно-абсорбционный методы определения алюминия (при массовой доле алюминия от 0,30 до 1,60 %) в кристаллическом кремнии Нормативные ссылки: ГОСТ 2178-54 в части разд. III, ГОСТ 61-75;ГОСТ 83-79;ГОСТ 199-78;ГОСТ 3118-77;ГОСТ 3640-79;ГОСТ 3760-79;ГОСТ 4199-76;ГОСТ 4204-77;ГОСТ 4328-77;ГОСТ 4461-77;ГОСТ 5457-75;ГОСТ 7172-76;ГОСТ 10484-78;ГОСТ 10652-73;ГОСТ 11069-74;ГОСТ 19014.0-73 |
| ГОСТ 19014.2-73 Кремний кристаллический. Методы определения железа | 01.01.1975 | действует |
| Название англ.: Crystal silicon. Methods of iron determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает фотометрический и атомно-абсорбционный методы определения железа (при массовой доле железа от 0,3 до 1,6 %) в кристаллическом кремнии Нормативные ссылки: ГОСТ 2178-54 в части разд. IV, ГОСТ 83-79;ГОСТ 199-78;ГОСТ 3118-77;ГОСТ 4199-76;ГОСТ 4205-77;ГОСТ 4461-77;ГОСТ 5456-79;ГОСТ 5457-75;ГОСТ 13610-79;ГОСТ 19014.1-73 |
| ГОСТ 19014.3-73 Кремний кристаллический. Методы определения кальция | 01.01.1975 | действует |
| Название англ.: Crystal silicon. Methods of calcium determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает титриметрический и атомно-абсорбционный методы определения кальция (при массовой доле кальция от 0,30 до 1,60 %) в кристаллическом кремнии Нормативные ссылки: ГОСТ 2178-54 в части разд. V, ГОСТ 83-79;ГОСТ 1381-73;ГОСТ 3118-77;ГОСТ 3760-79;ГОСТ 3773-72;ГОСТ 4199-76;ГОСТ 4234-77;ГОСТ 4461-77;ГОСТ 4530-76;ГОСТ 5457-75;ГОСТ 5817-77;ГОСТ 10652-73;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 19014.0-73;ГОСТ 19014.1-73;ГОСТ 24363-80 |
| ГОСТ 19014.4-73 Кремний кристаллический. Методы определения титана | 01.01.1975 | действует |
| Название англ.: Crystal silicon. Methods of titanium determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает фотометрический и атомно-абсорбционный методы определения титана (при массовой доле титана от 0,10 до 0,40 %) в кристаллическом кремнии Нормативные ссылки: ГОСТ 2178-54 в части разд. VI, ГОСТ 83-79;ГОСТ 3118-77;ГОСТ 4165-78;ГОСТ 4199-76;ГОСТ 4204-77;ГОСТ 5457-75;ГОСТ 7172-76;ГОСТ 19014.0-73;ГОСТ 19014.1-73;ГОСТ 19807-74 |
| ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия | 01.01.1983 | действует |
| Название англ.: Monocrystalline silicon in ingots. Specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник Нормативные ссылки: ГОСТ 19658-74, ГОСТ 2.004-88;ГОСТ 61-75;ГОСТ 334-73;ГОСТ 427-75;ГОСТ 701-89;ГОСТ 1367.0-83;ГОСТ 1770-74;ГОСТ 2263-79;ГОСТ 2548-77;ГОСТ 2567-89;ГОСТ 2789-73;ГОСТ 2874-82;ГОСТ 3647-80;ГОСТ 3776-78;ГОСТ 4160-74;ГОСТ 4220-75;ГОСТ 4461-77;ГОСТ 5017-74;ГОСТ 5959-80;ГОСТ 5962-67;ГОСТ 9206-80;ГОСТ 9285-78;ГОСТ 9412-93;ГОСТ 9696-82;ГОСТ 10197-70;ГОСТ 10354-82;ГОСТ 10484-78;ГОСТ 11069-74;ГОСТ 11078-78;ГОСТ 11109-90;ГОСТ 11125-84;ГОСТ 12026-76;ГОСТ 12997-84;ГОСТ 14192-77;ГОСТ 17299-78;ГОСТ 18270-72;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20477-86;ГОСТ 23676-79;ГОСТ 24392-80;ГОСТ 25593-83;ГОСТ 26239.1-84;ГОСТ 29298-92;ГОСТ 29329-92;ТУ 6-09-3401-70;ТУ 6-09-4015-78;ТУ 25-10(АМЦ2.778.019)-84;ТУ 25-10(АМЦ2.778.020)-84 |
| ГОСТ 22265-76 Материалы проводниковые. Термины и определения | 01.01.1978 | действует |
| Название англ.: Conductor materials. Terms and definitions Область применения: Настоящий стандарт устанавливает применяемые в науке, технике и производстве термины и определения основных понятий в области проводниковых материалов. Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения в документации всех видов, учебниках, учебных пособиях, технической и справочной литературе Нормативные ссылки: ГОСТ 17033-71 в части терминологии проводниковых материалов, ГОСТ 19880-74;ГОСТ Р 52002-2003 |
| ГОСТ 22622-77 Материалы полупроводниковые. Термины и определения основных электрофизических параметров | 01.07.1978 | действует |
| Название англ.: Semiconductor materials. Terms and definitions Область применения: Настоящий стандарт устанавливает применяемые в науке, технике и производстве термины и определения основных понятий полупроводниковых материалов Нормативные ссылки: ГОСТ 19880-74;ГОСТ Р 52002-2003 |
| ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа | 01.01.1986 | действует |
| Название англ.: Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. General requirements for methods of analysis Область применения: Настоящий стандарт устанавливает общие требования к методам анализа полупроводникового кремния, исходных продуктов для его получения ( технический кремний, четыреххлористый кремний, хлорсиланы, двуокись кремния) и кварца Нормативные ссылки: ГОСТ 12.0.004-79;ГОСТ 1770-74;ГОСТ 6709-72;ГОСТ 9147-80;ГОСТ 13718-68;ГОСТ 14919-83;ГОСТ 19908-80;ГОСТ 20292-74;ГОСТ 25336-82 |
| ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей | 01.01.1986 | действует |
| Название англ.: Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане Нормативные ссылки: ГОСТ 123-78;ГОСТ 804-72;ГОСТ 849-70;ГОСТ 859-78;ГОСТ 1277-75;ГОСТ 1467-77;ГОСТ 3118-77;ГОСТ 3640-79;ГОСТ 3778-77;ГОСТ 4331-78;ГОСТ 4461-77;ГОСТ 4526-75;ГОСТ 4530-76;ГОСТ 5905-79;ГОСТ 6008-82;ГОСТ 6835-80;ГОСТ 6836-80;ГОСТ 10216-75;ГОСТ 10262-73;ГОСТ 10928-75;ГОСТ 11069-74;ГОСТ 11125-84;ГОСТ 13610-79;ГОСТ 13637.1-77;ГОСТ 14261-77;ГОСТ 16539-79;ГОСТ 17746-79;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 22516-77;ГОСТ 23463-79;ГОСТ 26239.0-84;ТУ 6-09-5382-88 |
| ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора | 01.01.1986 | действует |
| Название англ.: Semiconductor selicon, raw materials for its production and quartz. Methods of boron determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения бора в полупроводниковом кремнии, в двуокиси кремния и кварце, в четыреххлористом кремнии и трихлорсилане и атомно-эмиссионный метод определения бора в техническом кремнии Нормативные ссылки: ГОСТ 83-79;ГОСТ 195-77;ГОСТ 244-76;ГОСТ 2603-79;ГОСТ 3118-77;ГОСТ 3773-72;ГОСТ 4160-74;ГОСТ 4461-77;ГОСТ 8321-74;ГОСТ 8429-77;ГОСТ 9656-75;ГОСТ 10007-80;ГОСТ 11125-84;ГОСТ 13637.1-77;ГОСТ 14261-77;ГОСТ 14262-78;ГОСТ 14919-83;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 19627-74;ГОСТ 20292-74;ГОСТ 23463-79;ГОСТ 26239.0-84;ГОСТ 26239.1-84;ТУ 6-09-05-504-76;ТУ 6-09-3011-73;ТУ 6-09-3401-88;ТУ 6-09-4305-76 |
| ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора | 01.01.1986 | действует |
| Название англ.: Semiconductor selicon, raw materials for its production and quartz. Methods of phosphorus determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает экстракционно-фотометрический метод определения фосфора в техническом кремнии, экстракционно-колориметрический метод определения фосфора в трихлорсилане и тетрахлориде кремния и двуокиси кремния (синтетическом кварце); нейтронно-активационный метод определения фосфора в полупроводниковом кремнии Нормативные ссылки: ГОСТ 2603-79;ГОСТ 3765-78;ГОСТ 4198-75;ГОСТ 4328-77;ГОСТ 6006-78;ГОСТ 6259-75;ГОСТ 6709-72;ГОСТ 9285-78;ГОСТ 10484-78;ГОСТ 10931-74;ГОСТ 11125-84;ГОСТ 14261-77;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20015-74;ГОСТ 20288-74;ГОСТ 20490-75;ГОСТ 26239.0-84;ГОСТ 26239.1-84;ТУ 6-09-5384-88;ОСП 72/80 |
| ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей | 01.01.1986 | действует |
| Название англ.: Semiconductor silicon and quartz. Method of impurities determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает нейтронно-активационный метод определения примесей в нелегированном полупроводниковом кремнии и кварце. Метод не распространяется для анализа кремния марок КЭС-0,01 и КЭМ-0,01 Нормативные ссылки: ГОСТ 123-78;ГОСТ 618-73;ГОСТ 859-78;ГОСТ 1089-82;ГОСТ 1277-75;ГОСТ 2603-79;ГОСТ 3640-79;ГОСТ 3765-78;ГОСТ 4220-75;ГОСТ 4233-77;ГОСТ 4328-77;ГОСТ 4331-78;ГОСТ 4951-79;ГОСТ 6709-72;ГОСТ 6835-80;ГОСТ 9293-74;ГОСТ 10297-75;ГОСТ 10484-78;ГОСТ 11125-78;ГОСТ 12797-77;ГОСТ 13610-79;ГОСТ 14261-77;ГОСТ 18289-78;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 18344-78;ГОСТ 24104-88;ГОСТ 26239.0-84;ОСП 72/87 |
| ГОСТ 26239.6-84 Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана | 01.01.1986 | действует |
| Название англ.: Silicon tetrachloride. Method of dichlorsilane, trichlorsilane, silicon tetrachloride, 1,3,3,3-tetrachlordisiloxane, 1,1,3,3-tetrachlordisilane, pentachlordisiloxane, hexachlordisiloxane, hexaclordisilane determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает хроматографический метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана в четыреххлористом кремнии Нормативные ссылки: ГОСТ 2603-79;ГОСТ 5072-79;ГОСТ 9293-74;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20015-74;ГОСТ 26239.0-84 |
| ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота | 01.01.1986 | действует |
| Название англ.: Semiconductor silicon. Method of oxygen, carbon and nitrogen determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации ускоренными ионами и протонами Нормативные ссылки: ГОСТ 334-73;ГОСТ 742-78;ГОСТ 828-77;ГОСТ 2156-76;ГОСТ 3647-80;ГОСТ 3760-79;ГОСТ 4204-77;ГОСТ 4461-77;ГОСТ 4828-83;ГОСТ 5072-79;ГОСТ 6709-72;ГОСТ 10297-75;ГОСТ 10484-78;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20288-74;ГОСТ 26239.0-84;ОСП-72/87 |
| ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния | 01.01.1986 | действует |
| Название англ.: Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination Область применения: Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом Нормативные ссылки: ГОСТ 2603-79;ГОСТ 5072-79;ГОСТ 9293-74;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20015-74;ГОСТ 25336-82;ГОСТ 26239.0-84 |