Обозначение: | ![]() ![]() |
Статус: | действует |
Название рус.: | Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия |
Название англ.: | Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications |
Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
Дата актуализации описания: | 01.07.2023 |
Дата издания: | 02.07.2004 |
Дата введения: | 01.01.2005 |
Код ОКП: | 249642 |
Нормативные ссылки: | ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем |
Расположен в: |