| Обозначение | Дата введения | Статус |
  ГОСТ 2.796-95 Единая система конструкторской документации. Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных систем | 01.01.1997 | действует |
Название англ.: Unified system for design documentation. Graphic designations in schemes. Element of vacuum systems Область применения: Настоящий стандарт устанавливает условные графические обозначения элементов вакуумных систем всех отраслей промышленности Нормативные ссылки:  ГОСТ 2.796-81, ГОСТ 2.721-74;ГОСТ 2.784-96;ГОСТ 2.785-70;ГОСТ 2.788-74 |
| ГОСТ 5.413-70 Насос магниторазрядный диодный охлаждаемый типа НМДО-01-1 (НОРД-100) с блоком питания типа БП-150. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.03.1970 | действует |
| Название англ.: The mater cooled diode type sputter-ion pump НМДО-01-1 (НОРД-100) with the power supply БП-150. Quality requirements for certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на магниторазрядные диодные охлаждаемые насосы типа НМДО-01-1 (НОРД-100) с блоком питания типа БП-150, предназначенные для безмасляной откачки в постах электровакуумных приборов, в печах вакуумного отжига и в ускорителях частиц Нормативные ссылки: ГОСТ 1.9-67;ГОСТ 515-56;ГОСТ 3956-54;ГОСТ 10354-63 |
| ГОСТ 5.1150-71 Насосы высоковакуумные диффузионные типа НВД. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.01.1972 | действует |
| Название англ.: High vacuum diffusion pumps type НВД. Quality requirements of certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на высоковакуумные диффузионные насосы типа НВД с быстротой откачки 0,15 и 0,25 куб.м/с (150 и 250 л/с). Насосы предназначены для откачки воздуха, неагрессивных газов, паров и паро-газовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений во взрывобезопасном помещении при температуре окружающего воздуха от 10 до 30 гра.С, относительной влажности 65 плюс минус 15% и атмосферном давлении 750 плюс минус 30 мм рт.ст Нормативные ссылки: ГОСТ 1.9-67;ГОСТ 1012-54;ГОСТ 13168-69;ГОСТ 10354-63;ГОСТ 3956-54;ГОСТ 515-56 |
| ГОСТ 5.1300-72 Насосы магниторазрядные диодные охлаждаемые типа НМДО-025-1 (НОРД-250) с блоком питания типа БП-100. Требования к качеству аттестованной продукции | 01.03.1972 | действует |
| Название англ.: The water-cooled diode type НМДО-025-1 (НОРД-250) sputter-ion pump with the power supply type БП-100. Quality requirements for certified products Область применения: Настоящий стандарт распространяется на магниторазрядные диодные охлаждаемые насосы типа НМДО-025-1 (НОРД-250) с блоком питания типа БП-100, предназначенные для безмасляной откачки в постах электровакуумных приборов, в печах вакуумного отжига и в ускорителях частиц Нормативные ссылки: ГОСТ 1.9-67;ГОСТ 10198-71;ГОСТ 515-56;ГОСТ 14192-71;ГОСТ 10354-73;ГОСТ 3956-54;ГОСТ 10354-73 |
| ГОСТ 14707-82 Насосы вакуумные пластинчато-роторные и золотниковые. Типы и основные параметры | 01.01.1983 | отменён |
| Название англ.: Rotary vane and valve vacuum pumps. Tupes and basic parametrs Нормативные ссылки: ГОСТ 14707-77, ГОСТ 15150-69 |
| ГОСТ 14715-88 Арматура вакуумная. Типы. Основные параметры | 01.01.1990 | действует |
| Название англ.: Vacuum valves. Types. Main charecteristics Область применения: Настоящий стандарт распространяется на сверхвысоковакуумные угловые клапаны и прямоходные затворы климатического исполнения УХЛ 4 и О4 по ГОСТ 15150, работающие в диапазоне давлений до 1х10 в ст. минус 7 Па и имеющие уплотнители, выполненные из термостойкой резины и допускающие прогрев до температуры не ниже 150 град. С Нормативные ссылки: ГОСТ 14715-77;ГОСТ 14716-77;ГОСТ 14717-77;ГОСТ 14718-77, ГОСТ 15150-69;ГОСТ 24934-81;ГОСТ 24935-81;ГОСТ 25197-82;ГОСТ 26526-85 |
| ГОСТ 18626-73 Проходы условные элементов вакуумных систем. Основные размеры | 01.01.1976 | утратил силу в РФ |
| Название англ.: Bore diameters of components of vacuum systems. Basical dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на элементы вакуумных систем и устанавливает ряд номинальных размеров условных проходов Нормативные ссылки: СТ СЭВ 1078-78, ГОСТ Р 52912-2008 |
| ГОСТ 26099-84 Насосы вакуумные поршневые. Типы и основные параметры | 01.01.1985 | действует |
| Название англ.: Reciprocating vacuum pumps. Types and basic parameters Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумные поршневые насосы с водяным охлаждением, предназначенные для откачки воздуха охлаждением, предназначенные для откачки воздуха и неагрессивных газов, предварительно очищенных от капельной влаги и механических примесей |
| ГОСТ 26526-85 Оборудование вакуумное. Соединения фланцевые для сверхвысоковакуумных систем. Конструкция, размеры и технические требования | 01.01.1986 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Flanger joint for highvacuum system. Design,dimensions and technical requirements Область применения: Настоящий стандарт распространяется на прогреваемые фланцевые соединения, используемые в сверхвысоковакуумных системах с условными проходами по ГОСТ 18626-73, диаметрами от 16 до 630 мм ряда R5 и 200 мм ряда R10 по ГОСТ 8032-84. Стандарт устанавливает конструкцию, размеры и технические требования для фланцевых соединений с неподвижными фланцами, поворотными фланцами и их комбинацией. Стандарт не распространяется на фланцевые соединения диаметром условного прохода 25 мм ряда R5 по ГОСТ 8032-84. Нормативные ссылки: CT CЭB 4773-84, ГОСТ 18626-73;ГОСТ 7798-70;ГОСТ 5915-70 |
| ГОСТ 32974.1-2016 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 1. Общие положения | 01.01.2018 | действует |
| Название англ.: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum pump performance. Part 1. General description Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы и устанавливает три различных метода определения быстроты действия, степени сжатия, измерения базового и наибольшего выпускного давлений Нормативные ссылки: ISO 21360-1:2012, ГОСТ ИСО/МЭК 17025-2009 |
| ГОСТ 32974-2014 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 2. Вакуумные насосы объемного действия | 01.09.2015 | действует |
| Название англ.: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 2. Positive displacement vacuum pumps Область применения: Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия. Стандарт устанавливает требования к методикам измерений быстроты действия, базового давления, наибольшего давления паров воды, потребляемой мощности и минимальной температуры запуска насосов объемного действия, которые осуществляют выхлоп газа при атмосферном давлении, с предельным давлением обычно менее 10 кПа. В настоящем стандарте необходимо использовать определения быстроты действия и базового давления. Настоящий стандарт также применяется при проведении испытаний других типов насосов, выпускающих газ при атмосферном давлении Нормативные ссылки: ISO 21360-2:2012 |
| ГОСТ 33518-2015 Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Измерение рабочих характеристик | 01.01.2017 | действует |
| Область применения: Настоящий стандарт определяет методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных насосов. Он применяется для всех типоразмеров турбомолекулярных насосов с механическими или магнитными подшипниками; и с или без дополнительной молекулярной ступени Нормативные ссылки: ISO 5302:2003, ГОСТ 5197-85 |
| ГОСТ 33866-2016 Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Измерение крутящего момента для быстрого выключения | 01.01.2018 | действует |
| Название англ.: Vacuum technology. Turbomolecular pumps. Measurement of rapid shutdown torque Область применения: Настоящий стандарт распространяется на турбомолекулярные и молекулярные насосы и устанавливает метод измерения крутящего момента для быстрого выключения (разрушающего крутящего момента) насосов, в которых газовый импульс создается наклонными пластинами с осевым направлением потока и/или спиральными каналами Нормативные ссылки: ISO 27892:2010 |
| ГОСТ Р 52615-2006 Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы | 01.03.2007 | действует |
| Название англ.: Compressors and vacuum pumps. Safety requirements. Part 2. Vacuum pumps Область применения: Настоящий стандарт распространяется на все типы вакуумных насосов, комбинаций вакуумных насосов и вакуумные системы и устанавливает основные виды опасностей, исходящие от вакуумных насосов. Стандарт устанавливает требования безопасности, предъявляемые к насосам, их транспортированию и хранению, установке, эксплуатации, техническому обслуживанию и демонтажу во время предполагаемого срока эксплуатации и последующей утилизации. Настоящий стандарт не распространяется на насосы для непрерывного откачивания в открытых системах, в которых давление на входе насоса не падает ниже 75 кПа (например в пылесосах, вентиляторах). Требования, для отдельных типов насосов могут быть дополнены в соответствии с требованиями нормативных документов на насос конкретного типа Нормативные ссылки: EN 1012-2:1996, ГОСТ Р 12.4.026-2001;ГОСТ Р 51334-99;ГОСТ Р 51336-99;ГОСТ Р 51337-99;ГОСТ Р 51342-99;ГОСТ Р МЭК 60204.1-99;ГОСТ 2.601-2006;ГОСТ 12.1.012-90;ГОСТ 5197-85;ГОСТ 30691-2001;ГОСТ ИСО/ТО 12100-1-2001;ГОСТ ИСО/ТО 12100-2-2002 |
| ГОСТ Р 52715-2007 Оборудование вакуумное. Соединительные части трубопровода. Установочные размеры | 01.09.2007 | заменён |
| Название англ.: Vacuum equipment. Pipeline fittings. Mounting dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины) и устанавливает установочные размеры для соединительных частей вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 630 мм ряда R5 Нормативные ссылки: ГОСТ Р ИСО 9803-1-2013, ISO 9803:1993, ГОСТ 24934-81;ГОСТ 24935-81;СТ СЭВ 298-76 |
| ГОСТ Р 52856-2007 Оборудование вакуумное. Размеры фланцев | 01.06.2008 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Flange dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на неподвижные, опорные и накидные фланцы, а также на установочные и центрирующие кольца, обеспечивающие герметичность вакуумных соединений, и устанавливает их основные и присоединительные размеры. Указанные размеры обеспечивают взаимозаменяемость неподвижных, опорных и накидных фланцев Нормативные ссылки: ISO 1609:1986, ГОСТ 8032-84;ГОСТ 9389-75;ГОСТ 18143-72;ГОСТ 28961-91 |
| ГОСТ Р 52912-2008 Диаметры номинальные элементов вакуумных систем. Ряды | 01.09.2008 | действует |
| Название англ.: Nominal diameters of components of vacuum systems. Series Область применения: Настоящий стандарт распространяется на элементы вакуумных систем и устанавливает ряд значений номинальных диаметров, а также их обозначения Нормативные ссылки: ГОСТ 8032-84 |
| ГОСТ Р 53334-2009 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные пароструйные. Измерение рабочих характеристик. Часть 1. Измерение быстроты действия (скорости откачки) | 01.08.2009 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Vapour vacuum pumps. Measurement of performance characteristics. Part 1. Measurement of volume rate of flow (pumping speed) Область применения: Настоящий стандарт распространяется на пароструйные выкуумные насосы и устанавливает метод измерения быстроты действия этих насосов. Рассматриваемые насосы, включают в себя три класса: - диффузионные насосы; - эжекторные насосы; - бустерные насосы (т.е. насосы, способные работать как в молекулярном, так и в ламинарном режимах потока, сочетая свойства диффузионного и эжекторного насосов). Перечисленные насосы могут работать с ловушкой (ами) или без нее (них) Нормативные ссылки: ISO 1608-1:1993, ГОСТ Р 52615-2006;ГОСТ 5197-85 |
| ГОСТ Р 53335-2009 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные объемного действия. Измерение рабочих характеристик. Часть 1. Измерение быстроты действия (скорости откачки) | 01.08.2009 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Positive-displacement vacuum pumps. Measurement of performance characteristics. Part 1. Measurement of volume rate of flow (pumping speed) Область применения: Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает метод измерения быстроты действия. Данные типы насосов могут работать с ловушкой(ами) или без нее(них) Нормативные ссылки: ISO 1607-1:1993, ГОСТ Р 52615;ГОСТ 5197 |
| ГОСТ Р 54107-2010 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные объемного действия. Измерение рабочих характеристик. Часть 2. Измерение предельного остаточного давления | 01.07.2011 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Positive-displacement vacuum pumps. Measurement of performance characteristics. Part 2. Measurement of ultimate pressure Область применения: Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает метод измерения предельного остаточного давления. Данные типы насосов могут работать с ловушкой (ловушками) или без нее (них) Нормативные ссылки: ISO 1607-2:1989, ГОСТ 5197-85;ГОСТ Р 52615-2006;ГОСТ Р 53335-2009 |
| ГОСТ Р 54108-2010 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные пароструйные. Измерение рабочих характеристик. Часть 2. Измерение предельного остаточного и наибольшего выпускного давлений | 01.07.2011 | действует |
| Название англ.: Vacuum equipment. Vapour vacuum pumps. Measurement of performance characteristics. Part 2. Measurement of ultimate pressure and critical backing pressure Область применения: Настоящий стандарт распространяется на пароструйные вакуумные насосы и устанавливает метод измерения предельного остаточного и наибольшего выпускного давлений. Рассматриваемые насосы включают в себя три класса: - диффузионные насосы; - эжекторные насосы; - бустерные насосы (т.е. насосы, способные работать как в молекулярном, так и в ламинарном режимах потока, сочетая свойства диффузионного и эжекторного насосов) Нормативные ссылки: ISO 1608-2:1989, ГОСТ 5197-85;ГОСТ Р 52615-2006;ГОСТ Р 53334-2009 |
| ГОСТ Р 54807-2011 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов | 01.07.2012 | отменён |
| Название англ.: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance Область применения: Настоящий стандарт устанавливает три метода измерения быстроты действия и один - измерения базового давления, степени сжатия и наибольшего выпускного давления вакуумного насоса Нормативные ссылки: ISO 21360:2007, ГОСТ 32974.1-2016, ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025-2009;ГОСТ Р 52615-2006 |
| ГОСТ Р ИСО 9803-1-2013 Вакуумная технология. Установочные размеры соединений трубопровода. Часть 1. С фланцами без ножевидной кромки | 01.04.2014 | действует |
| Область применения: В настоящей части стандарта рассматриваются установочные размеры для вакуумных трубопроводных соединений (колена, тройники и крестовины) с не прогреваемыми фланцами без ножевидной кромки с номинальным диаметром от 10 до 250 мм ряда R5 Нормативные ссылки: ГОСТ Р 52715-2007, ISO 9803-1:2007, ISO 1609:1986;ISO 2861-1:1974 |
| ГОСТ Р ИСО 9803-2-2013 Вакуумная технология. Установочные размеры соединений трубопровода. Часть 2. С фланцами с ножевидной кромкой | 01.07.2014 | действует |
| Область применения: В настоящей части стандарта рассматриваются установочные размеры для вакуумных трубопроводных соединений (колена, тройника и крестовины) с прогреваемыми фланцами с ножевидной кромкой с условными проходами от 16 до 200 мм Нормативные ссылки: ISO 9803-2:2007, ISO 3669:1986 |
| ГОСТ Р ИСО 27895-2013 Вакуумная технология. Клапаны. Испытания на герметичность | 01.07.2014 | действует |
| Область применения: Настоящий стандарт устанавливает методы проведения испытаний на герметичность вакуумных клапанов, используемых для регулирования потока газа или давления в вакуумной системе. Действие настоящего стандарта распространяется на вакуумные клапаны, которые в закрытом состоянии обеспечивают поток натекания не более 1·10-5 Па·м3/с. В настоящем стандарте рассматриваются также методы, используемые для контроля герметичности корпуса клапана. Методы применяют для проверки соответствия герметичности клапана техническим характеристикам, указанным производителем Нормативные ссылки: ISO 27895:2009, ISO 3530 |